摘要气敏传感器是一种可用于检测气体类型，浓度高低的传感器。金属氧化物半导体作为气敏材料时存在很多缺点，但是用贵金属材料作为增敏剂构建复合材料，可提高半导体金属氧化物的气敏性能，因此成为了研究热点。本文以银和氧化铟为研究对象，通过室温沉积法制备Ag-In2O3复合材料，成功将Ag纳米颗粒负载在In2O3 的表面上，利用拉曼光谱（Raman spectrum）、X-射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）等手段对所得产物进行了结构表征，并进行了气敏性测试。结果表明，Ag的加入对体系的形貌和气敏性能都有明显的影响。当Ag纳米颗粒的负载百分比为1 wt%的时候，元件对1000 ppm乙醇的敏感度最大，其气敏响应非常优异。而且，元件对乙醇的选择性和稳定性都很好。Ag的引入有助于改善氧化物半导体气敏的灵敏度、选择性和稳定性。73525

毕业论文关键词     Ag-In2O3复合材料   乙醇   气敏性能

毕业设计说明书外文摘要

Title    Synthesis of Ag-loaded In2O3 nanostructures and their  gas sensing properties                         

Abstract Gas sensor is used to detect the category, concentration and composition of gas 。The metal oxide semiconductors have some defects need to be improved。 However, the modification of metal oxide semiconductors with noble metals can improve significantly their sensitivity。 Thus, it has raised significant attention。 In this work, we reported the preparation of In2O3-Ag hybrids through a facile method at room temperature。 By this route, the Ag nanoparticles can be successfully deposited onto In2O3 surfaces, The microstructure of obtained In2O3-Ag hybrids were investigated by XRD, Raman spectrum, TEM, and SEM。 It is found that Ag nanoparticles did make a difference to the properties of In2O3-Ag hybrids。 The 1wt% Ag in In2O3-Ag hybrids has the impressive improvement in gas-sensing properties of In2O3 towards 1000ppm of ethanol。 Meanwhile, the hybrids show excellent selectivity and well stability towards ethanol。 Because of the loading of Ag nanoparticles, the gas-sensing properties of obtained hybrids have been improved markedly。

Keywords       In2O3-Ag hybrids,   ethanol，  gas-sensing properties

目   次

1 绪论 1

1。1 半导体气敏传感器 1

1。1。1概述 1

1。1。2金属氧化物半导体（MOS）气敏传感器的原理 2

1。1。3应用与展望 3

1。2 三氧化二铟 3

1。3 银 4

1。4 Ag的掺杂 5

1。5本论文研究目的及意义 5

2。实验部分 6

2。1实验试剂 6

2。2 实验仪器 6

2。3 实验流程 6

2。3。1 In2O3的制备 6

2。3。2 In2O3-Ag复合物的制备 7

2。3。3 气敏性能的表征 7

2。3。4 气敏元件的制备 8

2。4 结果与讨论 9