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塔内件包括气体分布器、填料支承板、床层限位器、液体分布器、壁流收集分配锥、液体收集器和再分布器等，其设计、制造及安装都极为重要。填料塔的分离性能首先取决于填料，其次取决于塔内件等。所以一座性能良好的大型填料塔，填料本身的高性能固然重要，但与之匹配的塔内件，尤其是液体分布器和气体分布器也是至关重要的。否则填料的高性能就不可能得以充分发挥，特别是对于大直径、多侧线及浅床层塔器，气液分布是非常重要的，往往是成败的关键[2]。
在新型填料塔技术中[4]，液体分布十分重要，这是因为；（1）不良液体初始分布会导致分离效率急剧下降，（2）不良的初始分布难以达到填料层的自然流分布，（3）新型高效填料一般具有较小的径向分布系数。因此，塔内件的设计，特别是液体分布器和进气结构的设计，成为开发大型填料塔的核心问题。而流体均布理论和技术又是发展填料塔内件的先导。目前，对液体的初始分布器和再分布器的研究，相对来说较多，也较为充分和成熟。现在已发展的形式有，盘式、槽式、排管式、槽盘式、喷嘴式及飞溅式等。液体从分布器中流出的形式有小孔型、溢流型及喷洒型等。
气体入塔分布装置，对小直径塔来说不太重要，气体容易分布均匀，一般由塔的侧壁直接进入塔内，通常采用直管或倒置喇叭口式。对大直径塔(如大于2m)，特别当填料高度较低时，气体的分布非常重要。气体分布不均会造成填料层内气液相分流，使塔的分离效率明显下降。在大直径填料塔中通常采用的气体分布装置有：支承式气体分布器、轴径向气体分布器。目前，随着大型填料塔(特别是浅填料床层) 的开发使用，气体分布问题逐步受到重视，在简单的进气结构不能满足要求时，出现了塔内增设均布格栅或格栅组来达到目的。近年为进一步改善塔内气体的分布，提高传质效率，又开发了许多性能优良的气体分布器。国内在塔内件方面也进行了开发，有些技术还获得了专利。
现在由于填料的开发成功和一些基础理论研究成果在填料塔工程放大问题上的突破，填料塔大型化带来的放大效应问题得到了一定的解决。尤其是20 世纪90 年代，一些大通量、低压降、高效率填料和塔内件的成功开发及应用使填料塔分离工程技术进入了一个崭新阶段。从近几年国外报道来看，填料塔今后可能将从两个方面得到发展: 一是不断开发和应用更简单、更高效的填料，即沿着理想填料的方向发展；二是塔内件的发展方向，是开发先进的与高效填料相匹配的低压降气液分布系统并在材质上改进或更新。21世纪的填料塔分离技术将向行业化、复合化、节能化、大型化方向发展。不同种类的填料组成填料复合塔，或组成填料塔板复合塔这种新的开发途径将继续被人们大量研究。新型“分布填料”也将在分布器的开发中占据重要地位[3]。
填料的形式分为散堆填料和规整填料两大类。
(1) 散堆填料
散堆填料以其制作简单、装填方便、分离效果好等优点被人们广泛应用。散堆填料的结构、形状及堆砌方式将影响流体在床层的流动和分布以及气液接触状态，因此认真研究填料的本体结构和它在填料层内的作用，通过改进填料结构，可以提高相接触面积，增加空隙率，减小压降，从而达到气液两相在整个塔截面上的均匀分布，使填料塔的性能得到改进。
(2) 规整填料
从规整填料的材质来看，陶瓷材料阻力大、耐高温、耐腐蚀，不锈钢金属材料成本高，碳钢金属材料不耐腐，塑料润湿性差、不耐高温。从形状和用途来看，织网类材料规整填料非常适用于低液体流率场合，由于有很大孔隙率，尤其适用于加工含固体的流体或要求压力降小场合。其他类型的高效规整填料是丝网型和波纹板型，这两类填料性能介于织网型和格栅型之间。