1)薄膜致密均与，并且纯度非常高；文献综述

2)薄膜厚度比较容易控制，结构多样化、成分稳定，薄膜表面较为平整；

3)薄膜与基片结合非常牢固；

4)沉积的介质薄膜保持有块状材料所具备的一些性质；

5)对靶材的要求不是很高；

6)工艺流程非常简单，可以直接应用于实际工业生产中，可以大规模的生产一 些高性能的薄膜。