3.1  光刻 11

3.1.1  光刻工艺介绍 12

3.1.2  图形反转工艺的具体步骤 13

3.1.3  光刻设备介绍 15

3.2  镀膜 16

3.2.2  磁控溅射镀膜工艺 18

3.2.3  镀膜设备介绍 18

3.3  PCM工艺 18

3.4  热氧化、氮化工艺介绍 18

3.5  小结 19

4  常开微开关的制备 19

4.1  掩膜板的制备 19

4.2  常开微开关各个膜层的制备 21

4.2.1  镀膜工艺操作步骤 21

 4.2.2  基底准备 22

4.2.3  镀电阻层 22

4.2.4  镀引线层 25

4.2.5  镀绝缘层 26

4.2.6  镀断路结构引线层 26

4.3  松香层 27

4.4  焊球 28

4.5  小结 28

5  常开微开关的性能表征 29

5.1  电阻层阻值及其熔断时间测量 29

5.1.1  电阻层未通电常温下测量 29

5.1.2  电阻层加不同电压的熔断时间测量 30

5.2  作用电压和作用时间 32

5.3  小结 33

结论 34

致谢 36

参考文献 37

1  绪论

1.1  研究背景

     随着科学技术的飞快发展尤其是很多高新技术的兴起和未来战争环境的复杂化，微型化、智能化弹药是未来发展的必然趋势。为适应这种需求，对火工品的可靠性、安全性、作用一致性、多功能性有了更高的要求。近年来随着MEMS技术的兴起，很多产业开始发生变化。应用MEMS技术可以减小产品体积大小、降低成本、减小能耗、提高产品可靠性、安全性、灵敏度等。在火工领域，结合MEMS技术发展了数字化火工技术，提出了灵巧火工品的概念[1]。起爆器是火工品家族中很重要的一名成员，是相关产品作用的关键功能元件，其性能好坏直接影响产品的性能好坏。起爆器的性能好坏主要体现在它的可靠性、安全性上。灵巧起爆器是基于MEMS技术、微纳米含能材料、微结构爆轰学等技术集成而来，具有体积小、重量轻、多功能以及批量生产成本低等特点，灵巧起爆器不但大幅度提高引信、火工品信息化和智能化功能，而且可大大降低其体积和成本，并从根本上改变现有的设计理念，提升火工品行业水平[2]。灵巧起爆器的起爆逻辑控制是其性能好坏的重要因素。微开关的研究可用于灵巧起爆器的起爆逻辑控制，即实现灵巧起爆器的解除保险、恢复保险和绝火功能，从而为灵巧火工品的研究奠定一定的技术基础。