(3)一个恢复保险功能：利用现有的功能，点火器可以切换到安全模式（保险状态）。重新将点火器的两个电极接地，点火器就可以回到安全状态。

(4)一个完全阻断功能：如有需要，点火器可以完全与电源断开，完全失去点火能力。 电控安全发火装置基本构造图

    电控安全发火装置构造如图1.2所示，它的基本结构是以利用MEME的电热开关为基础的，这些开关按一定次序排在同一芯片上，围绕着火工微点火器。图中有三个电热微开关，两个是常闭微开关，一个常开微开关。其中一个常闭开关在平常保证点火器安全，在需要发火时解除保险。另一个常闭开关可以不可逆地阻断点火器与电源的连接。这几个开关通过逻辑组合，可以实现保险、解除保险、恢复保险，永久阻断的功能。

作用原理为：

   （1）常闭开关1接地，将电路短路，保证在平常状态下微点火器的安全。在需要的发火时，常闭开关1作用，由导通状态切换为断开状态，微点火器与电源接通，点火器解除保险。解除保险原理图

   （2）当需要恢复对点火器的保险状态时，常开开关由断开状态转换为闭合状态（接地）从而使整个电路短路，点火器又重新处于保险状态。如图1.5所示。

恢复保险原理图

   （3）当需要永久切断输入点火器的能量，常闭开关2断开，直接断开电路，点火器与电源永久断开。如图1.6所示。

永久断开原理图

    法国LAAS-CNRS实验室安全发火装置尺寸为1.08cm×0.75cm。两个电热常闭开关和一个电热常开开关都是一次性开关。常闭开关通过打断电线，实现电路由导通转变为断开这一过程。常开开关通过微焊接来实现断开电路的导通过程。加热电阻使用多晶硅，电线为铜线。实物图文献综述

 安全发火装置、常闭开关、常开开关实物图

1.4  论文主要内容

    在查阅相关文献的基础上，结合实验室的实际情况，对MEMS引信微安保系统进行初步的探索研究，对其中的常闭微开关进行设计和制作。

    第一章，介绍课题背景及研究意义，介绍MEMS、引信的发展状况，以及国内外对于MEMS引信的研究现状进行简单的说明，同时介绍了LAAS-CNRS制作的MEMS发火装置的工作原理，为论文作铺垫。

    第二章，介绍常闭开关的原理，主要有两种作用方式，主要对电热式常闭微开关进行结构设计，包括加热电阻，绝缘层，引线和电线层的研究与设计。

    第三章，介绍制备电热常闭开关工艺方法。

    第四章，制备灵巧起爆器电热常闭微开关。

    第五章，对样品进行测量，包括对加热电阻的电阻测量，其熔断时间测定，对常闭微开关样品进行测试，包括作用电压的测定，作用延迟时间的测定以及常闭开关通电过程中温度的测定。

    最后，对文章进行总结。

2  常闭开关的设计

2.1  常闭开关介绍

    常闭开关是电路最初处于导通状态，作用时打破电路从而使电路断开的一次性开关，其中无活动部件，应用到武器中，有很大的优势。

    常闭开关按其作用方式，可分为两种。一种是电热常闭开关，另一种个是火工常闭开关。

（1）电热常闭开关。主要是通过加热电阻的加热作用，将沉积在电阻上的电线（铝线或铜线）熔化，从而使电路断开。

（2）火工常闭开关。通过加热电阻的加热，使装在绝缘薄膜下方的含能材料达到发火温度，燃烧放出气体，打破绝缘膜，从而打断沉积在绝缘膜上的电线。