2.1 引言[3][4][5][6]
随着移动网络系统应用的迅速扩大,LTCC技术作为一种极具吸引力的电子元器
件和基板制造技术正推进着各种电子设备,如蜂窝电话、个人数字助理(PDA)和个人
电脑灯无线语音和数据传输系统的小型化、轻量化、高速和多功能化的进程。LTCC
中的电路配线材料是高频导损小、电阻低的Cu、Ag和 Au金属材料,而且低温共烧
陶瓷的介电损耗也比有机材料的介电损耗小。这就使LTCC特别适合高速数据通信所
要求的高频电路应用。
LTCC即低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic)是于1982年由休斯
公司开发的新型材料技术。LTCC材料技术就是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确而致
密的生磁带,在生磁带上利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所
需要的电路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后叠压在一起,在 900 下烧结,
制成三文电路网络的无源集成组件,也可制成内置无源元件的三文电路基板,在其表
面可以贴装IC和有源器件,制成无源/有源集成的功能模块,图2.1.1为典型的LTCC
模块示意图。 美国休斯公司最早开发了 LTCC 技术,该技术早期主要应用于军事电子领域,其
成本相对较高,近年来受到汽车电子和通信等行业的推动,LTCC 材料和工艺有了很
大进步,成本逐渐降低,并且向民用方向发展。
过去的电子元器件市场大部分被日本厂商占领,因此在 LTCC 工艺的掌握上,日
商与部分欧美业者仍占领先地位。LTCC 材料在欧洲、日本和美国等发达国家早已进
入产业化和系列化阶段,如 DuPont、美国国家半导体、松下寿、村田制作所、京瓷
等研发机构对LTCC技术已研发多年,形成了一定的材料体系,生产工艺也较为成熟,
他们在专利技术,材料来源及规格主导权上均占有主要优势,欧美日厂商基本上占据
了LTCC90%以上的市场。
同时,在 2000 年前后,由于看到手机和蓝牙等无线通信市场的快速成长,预测
到LTCC技术对通信产品的小型化的贡献,我国部分台湾厂商也积极投入到LTCC技术
的开发或者寻求与欧美日等厂商的合作之中。目前我国台湾地区可以提供 LTCC 材料
和模块的主要有国巨、王景德电子和华新科等企业。
相比之下,我国大陆LTCC市场的开发稍显逊色,国内LTCC技术的相关研究始于
最近几年,与欧美日等国家相比至少落后5年,这主要是由于大陆电子终端产品的发
展滞后造成的。虽然我国在这方面工作开展较慢,但是在国家自然科学基金委、信息
产业部的支持下,国内已经有一些科研院所及企业投入到 LTCC 相关材料、技术和产
品的研究开发工作中,并取得了显著的成果。目前国内从事 LTCC 微波电路理论和设
计研究的主要有中国电子科技集团第十四研究所、五十五研究所、四十三研究所以及
东南大学等单位,同时深圳南玻电子和浙江正原电气等几家公司在 LTCC 工艺以及
LTCC 产品上则取得了比较大的进展。其中深圳南玻电子有限公司引进了目前世界上
最先进的设备,建成了国内第一条LTCC生产线,开发出了多种LTCC产品并已投产,
如:片式 LC 滤波器系列、片式蓝牙天线、片式定向耦合器、低通滤波器阵列等,性
能已达到国外同类产品水平,并已进入市场。目前,南玻电子正在开发 LTCC 多层基
板和无线传输用的多种功能模块。浙江正原电气股份有限公司以 LTCC 技术为平台,
利用从日本引进的全套 LTCC 生产设备及美国三文仿真设计软件研发、生产、销售多
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