摘要本文以基于倾相干涉的光学面形测量方法为研究对象。首先介绍了相应干涉仪的原理、几种常见的移相方法以及移相算法。然后介绍了干涉条纹图的图像处理流程，从图像采集到预处理，以及最关键的相位提取，最后对获得的包裹相位进行相位解包裹，实现位相恢复。本方法利用radon变换来提取倾斜相平面，用最小二乘法重新得到位相分布信息。该方法有着较高的准确性良好的稳定性，适用于振动环境下的干涉测量系统。除此以外，方法还能够用于没有相位移动装置的干涉仪，且能够获得高精密的分析结果。80060

毕业论文关键词  干涉仪  最小二乘  随机倾相  相位提取

毕业设计说明书外文摘要

Title    Research on the optical surface shape measurement method based on the phase-tilting interferometry               

Abstract In this thesis, the author deseribed the research results on the Phase-tilting interferometry for optical testing。 The dissertation introduces the fundamental principle of the interferometer。 Several phase-shifting methods and algorithms have been introduced。 Interferential image processing algorithms are also very important。 The key problem of phase-tilting interferometry is phase-extracting algorithms。 The Radon transform is used to extract the tilted phase plane, and the phase distribution is retrieved by the least squares method。 Phase-tilting interferometry has high accuracy and good robustness, and it can be used for interferometric measurements in environmental vibrations。 It can be used for interferometers without a phase shifter to achieve high-precision analysis additionally。

Keywords  interferometry  least squares  random phase tilts  phase-extracting

目   次

1  引言 1

1。1  研究背景及意义 1

1。2  国内外研究现状 2

1。3  主要研究内容 3

2  移相式斐索干涉仪 5

2。1  移相干涉的基本原理 5

2。2  移相式斐索干涉仪的组成及原理 5

2。3  常见的移相方法 6

2。4  移相算法 10

3  随机倾相干涉图像处理 13

3。1  倾相干涉条纹采集 13

3。2  倾相干涉图像预处理 13

3。3  干涉条纹的信息提取 16

3。4  倾斜相位提取 16

3。5  倾相干涉相位解包 19

4  实验结果与分析 24

4。1  实验装置及实验步骤 24

4。2  实验数据分析 25

结  论 29

致  谢 31

参 考 文 献 32

1  引言

1。1  研究背景及意义

干涉测量技术作为光学测量的一种方法，因具有较高的灵敏度与准确度以及较大的量程范围，同时还具有非接触测量的特点，在精密测量、加工以及实时测控等领域占有重要的地位。基于干涉测量技术制造的用于光学计量的仪器被称为干涉仪[1]。论文网