最小偏折角是把晶体切割成等腰三角形,光线从一侧进入待测晶体,由于发生折射光线会发生偏转,这个偏转的角度大小和折射率大小相关。入射光线和出射光线之间的夹角是需要测量的数值,计算分析可知,当入射光线和出射光线与等腰三角形的腰夹角相等时,这个偏折角最小。这种方法是现在测量精度较高的一种,但是它缺陷也很明显,必须把样品切割成特定形状,很多样品不易切割也不能破坏样品,这个就大大限制了它的应用范围。论文网

阿贝折射仪也是应用折射原理,但是它就能测量很多材料,不管是液体,气体,固体。它的原理是两个特定形状的棱镜,一般是三角形,两个棱镜平面间放置样品,光线通过会产生偏折,不同折射率的材料偏折程度不同,会使光点发生移动,探测这个移动就能测定折射率。测量液体和气体时,可以制作一个容器放在晶体中间,这样就能方便地更换样品。由于偏折面处样品与棱镜接触,所以测量的范围有限。

干涉法测量的精度也很高,它原理就是利用光程差的区别,是光线位相差变化,由干涉原理就会产生明亮相间的条纹。产生干涉的仪器有很多种,每一种都有它的适用性和优缺点,测量不同材料要选取合适的仪器和方法。

我们主要研究的材料是薄膜,薄膜测量手段分光学与非光学两类[11]。光学法包含干涉法、扫描光谱法、棱镜耦合法、光度法、椭偏法等。非光学法有X射线吸收法、伽马射线吸收法、触针法、比重法、电容法、定量化学分析法等。其中干涉法原理简单,测量迅速,然而干涉法适用范围有限,丈量精度只能达到几百纳米。光度测量法是通过接收出射光的光强,然后进行傅里叶分析得到薄膜参数。这个方法测量速度很快工业上应用较多,但是准确性有待提高。

椭圆偏振测量术是本文研究的重点,它是检测偏振光通过待测薄膜后,引起的偏振态改变,根据椭偏方程计算得到薄膜的各种参数。椭偏法具有精度高、灵敏度高和测量速度很快的特点,可以应用在真空、强磁场和电场中。该方法在物理学、化学化工、材料科学、生物学、光学工业、半导体业以及与光学、生物医学、电子学、机械有关的各个领域得到广泛应用。

2 椭圆偏振术

本章我们主要介绍椭圆偏振测量法的产生、发展过程,说明椭偏法的应用领域。从原理出发,深入研究消光式椭偏仪测量原理。

2。1 椭偏术的产生、发展和应用文献综述

2。2 椭偏仪偏振理论

  实验使用的椭偏仪器采用的是消光式椭偏仪,一般测量单层薄膜。我们下面给出偏振光经过单层薄膜的示意图,分析它的测量原理。椭偏参数反映薄膜性质,不同薄膜椭偏参数不同,实验将椭偏参数与测量角度联系起来。

如图1表示,这是一个典型的单层薄膜系统,中间厚度为d的代表薄膜层,它的折射率是n2。折射率为n1是入射介质,一般为空气。最下面是衬底,折射率是n3。光线在薄膜中的运动路径如图中所示,每个入射角折射率角在图中标出,分别为φ1、φ2、φ3。根据光折射理论

实际情况中,我们讨论的光的电矢量E,振动方向往往不是固定的,也就是说一般是椭偏偏振光,光矢量的角度和振幅都在随时间变化。为了讨论方便,我们建立一个直角坐标系sop,p在纸面内,s垂直纸面方向,可以把E分解Es和Ep。我们首先研究一条光线的规律,在两个界面上利用折射定律和菲涅尔公式,我们用r代表反射系数,rs、rp代表垂直分量反射率和水平分量反射率,数字1、2代表界面一和二,界面一的反射率如下

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