激光清洗是一种新兴的清洗技术，以其高清洁度、绿色无污染、高度自动化、可远程精确实时控制、无需清洗剂、不损伤工件表面等优点，迅速成为工业生产中不可或缺的技术，弥补了传统清洗技术的不足，满足了当代工业生产及环境保护的的高要求。激光清洗的应用范围广泛，在半导体生产、精细集成电路芯片、计算机驱动器、高能光学元件的加工,汽车航空船舶制造业的产品零件、文物的清理修复、物体表面污染物的清除、金属表面脱漆等领域都有重要的应用，其表现都令人满意。

国外对激光清洗已经进行了长时间的研究，取得了很多的研究成果、技术专利。激光清洗在国外已经进入到了实际应用的阶段。国内对激光去清洗的研究起步较晚，目前还停留在研究的阶段，没有实现激光清洗的实际应用[1]。本文，对目前国内外在激光清洗方面取得的理论及实验研究进行了总结，旨在为实现激光清洗的实际应用提出理论和经验上的指导，为国内激光清洗行业的发展有所帮助。

1.2 激光清洗的应用

     激光清洗硬盘磁头。计算机硬盘磁头在使用过程中, 表面易产生污染物。污染物会减少磁记录密度; 还会破坏磁盘, 导致磁录的可靠性下降。采用短脉宽、较低能量密度的KrF 准分子激光器, 可以有效去除磁头污染物，并不损坏磁头表面。

激光清洗硅晶体表面。晶体硅是半导体行业中常用的材料, 其表面在高温下易形成碳化硅等污染物。使用短脉冲KrF 准分子激光器可有效清洗硅晶体表面[2]。

激光清理巨型光学镜片上的颗粒污染物。大型天文望远镜的镜片由于尺寸太大，不方便移动，对避免损伤的要求高，很难用传统方法清洗。使用短脉冲KrF 准分子激光器进行清理，可以在不损伤镜面的情况下使颗粒污染物脱离镜片，脱落后的污染物可以轻易地用气体吹离镜面或用吸尘器吸走[3]。

激光清除海面石油污染。清除泄漏在海面上的石油，以往是用燃烧的清除方法, 不仅浪费资源, 而且会产生有害气体, 造成污染。用激光清除石油，通过控制激光的能量, 可以使石油受热蒸发而不燃烧, 然后用真空回收装置进行收集。 当油层较厚时, 可采用大功率激光从石油层底下进行扫描, 石油层会形成浓缩的石油膜, 而海水在激光作用下受热沸腾将石油膜高高托起, 再用过滤收集石油膜的特殊装置进行收集[4]。用船舶装载激光设备清理石油，速度快、效率高, 一天可清理数十平方公里的海面。

激光清理橡胶模具，使用调Q的Nd：YAG激光器，可以有效地清除粘附在橡胶制品模具上的橡胶层，而模具完好无损[5]。

激光清洗核电站反应堆内污染物。通过光纤,将高功率激光束引入反应堆内部,可有效清除放射性粉尘,并保证了工作人员的安全[6]。

    激光清理文物。激光可用于清除绘画上的老化清漆层[7]、书画表面的霉菌[8]或大理石雕塑、古建筑上的表面附着的硬壳污染物[9]。短脉冲KrF 准分子激光器配合激光诱导击穿光谱学(LIBS)技术，能够方便清除掉污染层，而不损害文物。

激光清洗在除锈领域有广泛的应用。比如桥梁、电视发射塔、高压输电线路的铁架等金属建筑物的表层锈蚀、镀锌板表面的红锈、铜材表面的氧化层等，都可以用激光实现高效快捷的清理，并且能防止进一步氧化[10]。

此外，激光清洗在清除墙体广告、涂鸦、污迹方面也有重要应用[11]。 

2  激光清洗的原理

2.1  激光清洗的机理

物体表面附着物与表面之间的结合主要是由于存在以下各种力:共价键、双偶极子、毛细作用、氢键、吸附力和静电力等。其中毛细力、吸附力和静电力是最难破坏的，激光清洗技术就是要克服这几种力[12]。