毕业设计说明书中文摘要半导体物理学是一门涵盖面十分广泛的学科，交叉多个领域。半导体器件有多种类别，它们有着不同的结构和性能，在生产和生活中体现出巨大的优势，是不可或缺的。因此，对半导体器件的仿真也具有重大的意义。79539

本论文主要分为三部分：对纳米半导体材料和器件的介绍，使用Sentaurus Tcad仿真软件对半导体器件进行建模，再使用Sentaurus Tcad对半导体器件仿真。本论文在了解半导体物理及半导体器件的基础知识上，对金属-氧化物-半导体场效应晶体管（MOSFET）和金属-半导体场效应晶体管（MESFET）两种半导体器件进行建模和仿真，得到半导体器件的电特性曲线，并加以分析。

毕业论文关键词  半导体器件  纳米材料  掺杂浓度  剖分  电特性曲线

毕业设计说明书外文摘要

Title    Multi-physical Characteristics of Nanometer  Semiconductor Devices                           

Abstract Semiconductor Physics is a very broad coverage of subjects, and cross a number of areas。 There are several categories of semiconductor devices, they have different structures and properties, and reflect a huge advantage in the production and life indispensably。 Thus, it is also of great significance to the simulation of semiconductor devices。

The paper is pided into three parts: the introduction of nanometer semiconductor materials and devices, the semiconductor device modeling by Sentaurus Tcad simulation software, and semiconductor device simulation by Sentaurus Tcad。 The experiments are performed on the basics of semiconductor physics and semiconductor devices, model and simulate the two semiconductors, MOSFET and MESFET。 Then we can obtain the curves of electrical characteristic about semiconductor devices, and analyze them。

Keywords  Semiconductor device  Nanomaterials  Doping concentration  Split  Electrical characteristic curve

目   次

1  绪论 1

1。1  纳米材料介绍及发展 1

1。2  纳米半导体材料研究动态及发展趋势 1

1。3  论文研究目的及内容2

2  半导体器件的特性和参数介绍 3

2。1  引言 3

2。2  半导体物理的基础介绍 3

2。3  几种半导体器件的性质和功能 4

2。4  本章小结 5

3  MOSFET器件仿真及Sentaurus仿真工具  6

3。1  引言 6

3。2  MOSFET参数介绍 6

3。3  Sentaurus TCAD仿真软件 7

3。4  MOSFET模型建立和参数设置 9

3。5  电特性曲线 11

3。6  本章小结 16

4  MESFET器件仿真 17

4。1  引言 17

4。2  GaAs材料 17

4。3  MESFET参数 18

4。4  器件结构模型 20

4。5  电特性曲线 22

4。6  本章小结 26

结论  27

致谢  28

参考文献29

1  绪论

1。1  纳米材料介绍及发展

材料、能源和信息是当前三大支柱产业。材料是人们生产、生活的物质基础和前提。材料在生活中不可或缺，对于材料的探索和发展，也在一步一步的深入。纳米，也叫做微毫米，纳米科技是一种迅猛发展的新科技。纳米逐渐融入到我们的生活中，纳米技术的研究涉猎广泛，与多种学科相互交叉，应用于电子产业、医疗产业、工艺制造等[1]。1993年，国际纳米科技指导委员会将纳米技术分为六类，在这六类中，最重要的是纳米电子学。我国对于纳米材料领域的研究在世界各国的当中趋于前列，我国科学家经过不断尝试，努力探究，在国际频频露脸，在科技前沿占有一席之地[2]。科学家们在纳米世界里探索的脚步越来越快，纳米越来越多的融入到生活的方方面面。论文网