微机械系统将对军事应用和民用意义重大。半导体产业是起源于成熟的微电子机械技术，可以集成到各个领域，除了发展新的加工技术和完善现有的流程，而且还可以解决以下问题：CAD技术、包装和测试、可靠性、应用研究和标准化的问题。86378

在CAD封装测试方面，IC与MEMS技术有很大不同，前者发生在真实物理世界中，涉及各种能量和材料的传输和处理。因此，要解决的问题比后者要复杂，它已成为微电子机械技术进一步发展的瓶颈。目前它已经给予了高度重视，我们试着去解决突破它。

MEMS标准化可以分为不同的层次：

（1）工艺和材料的标准化。在这方面，专注于一个单一的过程（尤其是CMOS兼容的表面技术）的制造中心的标准化，如MCNC。

（2）信号处理电路和标准化部件，如多功能的电容传感器信号处理电路和电感MEMSCAP标准库；论文网

（3）系统的标准接口，系统接口的标准化可以使用方便，可以作为一个模块来实现更高的系统。

磁阻传感器利用磁场的磁化方向和电流的夹角大小改变电阻的大小，从而可以达到定位的效果。利用磁阻传感器的MEMS加工技术制备，MEMS技术主要采用高精度光刻、电镀和蚀刻工艺，还为集成了小型化、集成度和低功耗器件的设计提供了一个广阔的发展空间。尤其是UV-LIGA工艺在MEMS技术中，主要采用光刻、微铸造加工技术、三维微结构体加工为主要的技术。在现有的车辆检测中，Moonhokang使用了Pilipssemiconductors公司kmz51磁阻传感器，而Vamseek。Boda等人使用了Honeywell公司的HMC1002传感器，两个都是模拟输出，都要外接AD转换电路。E。Sifuentes等人用AAH002三轴传感器，出自NVE公司，可以检测出更多有用的信息，但其成本高、耗能大。

1857年初，W。汤姆孙首先发现的铁磁晶体的各向异性，但并没有引起人们的注意。1988巴黎、法国、巴西的学者Baibich在Fe/Cr多层膜中发现了巨磁电阻效应，立即引起了学术界和企业界的关注重视，也已经成为物理研究的热点。在过去20年中，在新现象、新材料、新技术等方面都取得了新的突破。随着微电子技术和光电子技术的飞速发展，新一代的磁性传感器的发展已得到推广。

磁性材料已被广泛应用于高密度磁传感器、弱磁场检测和运动检测领域，并成为世界领先的研究领域。磁阻传感器具有其独特的优点，在磁场测量、数据存储、汽车电子、工业控制等领域有着广泛的应用。