首先,从测量器具上来说,对长平晶的检测所采用的主要方式是利用等倾或者等厚干涉仪根据规程要求,对其进行检定。在这些仪器中,有相当一部分还是利用目视读数的干涉仪,其精度和准确性都无法得到保证。从90年代后,新型的数字式移相干涉仪开始得到广泛的应用,是目前国内和国际普遍采用的测量器具。60386

其次,从检定方法来说,在传统光学检测中,大口径光学元件加工质量的检测一般需要使用大口径干涉仪,这就要求要有一块与被检测元件尺寸相同或者更大的标准元件。对310mm长平晶而言,就需要一块直径比310mm还大的标准元件。而这样一个高精度的标准元件不仅加工难度极大论文网,制造成本高,同时对检测环境的要求也很高,这些都无形地增加了检测的成本和难度[4]。如果采用子孔径拼接测试技术,在相对的小口径干涉仪上检测长平晶的部分区域,待孔径测量之后,再使用适当的算法“拼接”得到全孔径面型信息,具有更高的效率和更低的成本,便于实际应用。

本课题的意义在于,通过设计一种长平晶检定系统,使其既能满足现行国家标准对长平晶的检定要求,又能够通过现有技术,提高长平晶的检定精度,并能够将检定结果方便、直接地进行显示。

参考文献

[1] 朱正辉.几何量计量[M].北京:原子能出版社,2002.1~43.

[2] JJG 28-2000. 平晶检定规程. 中国计量出版社,2000

[3] 周渭,于建国,刘海霞.测试与计量技术基础[M].西安:西安电子科技大学出版社,2004.195~207.

[4] 张蓉竹,杨春林,许乔等.使用子孔径拼接法检测大口径光学元件.光学技术,2001,27(6): 516~517

[5] 洪生伟.计量工程师常用手册[M].北京:中国计量出版社,2004.1~46.

[6] 张玉文,陈照聚.几何量仪检定/校准技术[M].北京:中国计量出版社,2004.1~23.

[7] 仝卫国,李国光,苏杰,赵玉辉.计量测试技术[M].北京:中国计量出版社,2006.11~20.

[8] 苏大图, 赵立平, 沙定国. 光学测试技术[M]. 北京理工大学出版社, 1996.96~97.

[9] 朱日宏, 陈磊, 王青, 等. 移相干涉测量术及其应用[J]. 应用光学, 2006, 27(2): 85~88.

[10] 张蓉竹,杨春林,许乔等.子孔径拼接干涉检测中去倾斜处理技术[J]。强激光与粒子束,2004,16(7):879~882

[11] JJG 740-2005 研磨面平尺检定规程.中国计量出版社,2005

[12] 高辉. 等厚干涉仪对大尺寸平面度的数字化测量[D]. 南京理工大学, 2012.

[13] 王青. 计算机辅助干涉术在光学长度计量中的应用研究[D]. 南京:南京理工大学,1997

[14] JJG 2019—1989平面度计量器具检定系统[S].国家技术监督局,1989.1~5.

[15] 乔玉晶等. 一种提高子孔径拼接测量精度的误差修正方法[J]. 四川大学学报,2007,44(4):846~848

[16] Michael Bray. Stitching Interferometry and Absolute Surface Shape Metrology:Similarities[J]. SPIE,2001,5252:305~313

[17] 何勇, 王青, 尚博, 等. 子孔径拼接技术在长平晶计量中的应用研究[J]. 光学技术, 2006, 1.


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