20世纪80年代以来，美、德、日、法、俄等国家相继开展了MIMU的研究。1998年，Crossbow公司最先推出全部基于微机械器件的惯性测量单元f81。1999年，美国Honeywell与Draper实验室合作开发了Honeywell公司第一代MEMS-IMU HG1900[2]，其角速度漂移达到了6º/h。2010年，加利福利亚大学用折叠MEMS方法研发出了金字塔形MIMU，并通过测试验证其工作性能也很好，相对于传统的六面体，其体积大大减少[3]。由于MEMS器件构成的惯性系统在低精度民用设备上的市场前景，许多公司已经开发面向消费电子、运动检测跟踪、汽车导航、虚拟现实等方面的MEMS产品，例如荷兰的Xsens公司开发出了用于人体的三维运动检测、VR游戏等用途的成熟产品MTi[4]。美国Tyndall国家研究所设计出了面向虚拟头盔等消费电子领域应用的体积约为1cm3的无线MEMS IMU装置[5]。

目前国内的一些高校也在进行MIMU的研究，相关的研究工作有：南京航空航天大学[6]在低成本IMU方面进行了探索，其研究结果可以用于MIMU；论文网清华大学的研究工作是构建了一个由3加速度计3陀螺仪构成正交坐标系的MIMU[7]；哈尔滨工业大学在五陀螺MIMU构建方面进行了一定的工作，研究了五陀螺MIMU理论及其优化算法[8]；东南大学[9]则进行了MIMU/GPS组合导航系统组合算法的相关研究；武汉大学、西北工业大学以及北京航空航天大学也都有相应的研究成果[10-12]。从这些文献也可以看出，目前除了组成结构的系统研究之外，大部分的工作集中在传感器建模、多系统的组合算法以及系统仿真上面，大多数的研究还没有进入系统的实质应用阶段。63544

根据调研发现，当前MIMU系统的核心控制器主要包括DSP、MCU和ARM三类。文献[13]、[14]、[15]、[16]、[17]分别介绍了基于上述核心控制器的MIMU数据采集系统的设计。

下面我将对数据采集系统中的关键部件——模数转换器的发展现状进行介绍。