最早关于PSD的研究是1930年的Schott，当时他把Cu2O表层的An电极短接到Cu层，用安培表测量，结果发现当有光照射时，不同位置的入射点会使外电流与电极之间的间距上涨指数降低，这是关于横向光电效应的第一次提出，但是受限于当时的科研水平，并没有引起当代科学家的注意。1957年WallMark首次提出了PSD的概念，随后1960年Lucovusky推倒出了以他名字命名的横向光电效应方程，自此令PSD的研究具有了理论基础，这时，Fieret设计了方形PSD，Allen设计了圆形PSD，它们被统称为WallMark型PSD，相对来说结构简单，线性度、响应速度、灵敏度比较差，不用预加偏置电压，电极主要是圆点形状。如图 1.2.1（a）。随着时间的推移，慢慢的人们设计出了四边形结构的PSD，电极不再是圆点状，而是条形状，如图 1.2.1（b）。 致使它的暗电流变小，反偏电压方便添加，而且前面提到的几项指标除非线性度均有明显改善。四边形PSD的问世，在红外、可见光领域得到了广泛的应用，但是线性度低仍然没有得到改善。为了提高线性度，在前人研究的基础上，诞生了双面结构，如图 1.2.1（c），该结构没有了电极间的干扰，故而提高了线性度，但是X和Y两个方向的信息不在同一个结平面，论文网所以很难加反偏压，而且暗电流比较大。不断发展不断有新的问题出现，之后，Woltring综合了上述所有的研究，制作出了一种枕形结构的PSD，如图 1.2.1（d），使PSD的发展达到了一个新的高度，解决了先前所有的问题，但稍微欠缺的是，使用效率较低，因为有效面积不是很大。PSD作为一种对入射光斑敏感的光电元器件，经过不断发展，九十年代末达到鼎盛，但它的应用领域一度发展较缓，归结于光源的受限。这些年，PSD借助激光器的不断改进，得到了充分的发展，经过一系列的研究，使制作越来越精简，性能越来越优良，日本美国瑞典研发出来多种具有广泛应用价值的一维或二维PSD，在体积性能等方面尤为突出，它的实际应用价值也越来越凸显，同时为了满足更高领域的要求，例如生物医学、高能物理等方面，一些科学家又进行了进一步的研究，他们发现以Si为材料制作的PSD比GaAs-Schottky要快速很多，接近一个数量级，后来随着科技水平的发展，又诞生了网状PSD，在机器人定位系统、三维测量、精密检测等拥有广泛的应用前景。63711

图1.2.1  PSD的结构图形

我国直到85年左右才有了关于PSD的一些研究报告，相对于国际方面起步较晚。80年代末，电子部44所制作了a-Si:H一维PSD，之后又制作了二维PSD，同样采用的是Si材料。我国还有其他研究所进行了类似的研究，但是相对来说还是比较少的，没有形成批量生产，规格型号欠缺论文网。归根结底在于我国对PSD的重视程度不够，了解不够，以及价格还有配套设施不完善等原因。

    目前国际市场上对PSD的报道还是比较多的，市场应用越来越多，需求越来越大，而且正在被更多的人所了解熟知，主要应用在机器人传感、三维形貌测量、高能物理实验、军事、航空对接、汽车进障、自动对焦、监控以及工业领域等。国际上现在有许多公司在生产这方面的产品，美国MTI公司的MicroTRAK系列，德国KLIPPLE公司,德国Micro一EPsilon公司的optoNCDT系列,日本Keyence生产的LC系列、LB系列和LD系列。