在武器系统中，火工品是一个重要的组成部分，有武器的心脏之称。MEMS火工品的研究有利于加快武器弹药的微型化、智能化的进程，所以MEMS技术在火工品行业中将得到广泛的关注。MEMS火工品与普通同功能的火工品相比具有成本低、安全性可靠性高等优点。近些年来，美英法等发达国家相继对MEMS火工品进行大量研究，有些成熟的MEMS火工品已经应用于高新武器装备和航空航天领域。我国MEMS火工品研究起步相对比较晚，在近几年也相继投入大量精力进行研究。据调研，目前为止在研的火工品主要有以下几种：（1）MEMS微推冲阵列（微型火箭阵列）；（2）MEMS引信系列火工品包括其发火装置、安全保险装置等；（3）MEMS传爆序列火工品，包括MEMS起爆器等；（4）MEMS点火器系列及MEMS装药技术等；（5）MEMS火工集成系统的研究。63767

1  国外研究现状

    美国国防预研局(DARPA)从20世纪90年代后期系统地开展了MEMS项目研究，进行了70余项有关MEMS的研究。其中有多项涉及微火工品系统，典型的有：20mmOICW单兵武器的MEMS安保机构和引爆系统，6.25in反鱼雷MEMS安全起爆系统，微型卫星用MEMS微推冲器阵列；1997年，美国国防预研局最先报道了基于MEMS S&A和微爆轰起爆的灵巧雷管，用于OICW20mm空爆弹引信；NASEA实验室的Dr．John Robbins报道于灵巧起爆器的爆炸序列，其未来研究目标是从现在的10～30cm3发展成为2cm3[2]。

    2003年2月7日Sandia实验室新闻(SandiaLabNews)报道了该实验室的微引信(MicroFuze)研制工作；该微引信是一种基于MEMS工艺应用于安全引信系统的安保装置，它的研制目标功能是用于常规武器的“安全、解除保险、发火”功能。该消息一出引起了各国相关领域专家的注意，都对MEMS引信开始展开研究[3]。

    法国国家科学研究中心实验室（LAAS-CNRS）的Helene Pezous、Carole Rossi团队等提出利用MEMS技术和微烟火技术制作安全引信系统，设计并制作了MEMS引信发火装置[4]。

2  国内研究现状

在国内，MEMS火工技术的研究主要集中在清华大学、国防科技大学、南京理工大学、中北大学、中国工程物理研究院、213所等少数院校和研究机构。主要研究的有MEMS引信安全系统、MEMS微推冲阵列、MEMS起爆器及应用于MEMS火工技术的微点火器、微爆轰、微装药等。

（1）MEMS微推冲阵列

    在国内只有清华大学、国防科技大学、南京理工大学等少数高校进行MEMS微推冲阵列的相关研究。如下三图所示分别为各自研制成功的MEMS微推冲阵列原理样机。

图1.2清华大学研制的MEMS微推进器单元结构及原理样机

国防科技大学研制的MEMS微推进阵列原理样机

南京理工大学研制的微推进阵列原理样机

（2）MEMS起爆器

     国内有关MEMS起爆器研究的报道较少，中国工程物理研究院化工材料所蒋小华等在基于微机电起爆器的原理及构成，对微机电起爆器涉及的含能桥、微小尺寸爆炸序列等关键技术进行研究[2]。论文网

（3）应用于MEMS火工技术的微点火器、微爆轰、微装药

 南京理工大学化工学院在这些方面进行了一系列研究，如王守旭等对应用MEMS的多孔硅含能芯片的制备和工艺性能进行研究、朱朋等提出介电式复合含能薄膜点火桥概念等等[6-7]。

（4）MEMS引信

    国内的一些高校和研究机构己对MEMS引信展开了研究，研究方向主要集中在对安全系统的研究上。南京理工大学机械工程学院已对MEMS引信隔爆机构进行了比较长时间的研究，如席占稳等对MEMS引信安全系统进行了一系列研究、宫宁等对MEMS引信安全发火装置关键部件进行制作和研究[8~10]。