从1999年伊始,日本公司就开始研究能够全面提供半导体激光器各种参数的系统。2000年,日本各家大型电机公司开始在生产和检验方面大量使用系统技研公司生产的能全面测量半导体激光器各种参数的性能测量系统,该系统在当时的条件下性能十分卓越。2002年,日本Advantest 公司推出激光二极管测试系统——Q8611系统[1],这个系统实现了二合一的特性,为业界首款。它的二合一特性出了可以测量LD光输出特性以及相应的电学特性,还在于能够测量高速率的信号传输特性。这种强大的功能提高了客户的投资效益,可以说是一款突破性的产品。64385

Q8611实物图

图1 Q8611实物图

同时在美国,Newport公司研发了一些专为半导体激光器生产的不同阶段测试仪器。其500系列检测仪工作电流范围大,5000系列测量精度高,且相关参数都能在液晶屏上直接显示出来,方便好用。下图分别为500和5000系列产品的实物图。

 500系列以及5000系列产品实物

2003年美国Keithley公司发布的改进型L-I-V测试系统。该系统面向激光二极管及组装后的组件的测试。其中包含了已被业界普遍接受的独立测试仪器和一些特有附件组合成一个系统,与一般的“多合一”系统不同,经过周密的分析,系统在最大程度上提供用户需要的功能,而不是集成一些不实用的性能[1]。最大限度得减少了从针对单个仪器的分析道对整个生产线的系统检测的时间成本,在建立速度和测量精度上都有很好的表现,其所有组件都安防在一个易安装的机柜内。实物图如下:论文网

Keithley系统机柜

2004年1月ILX Lightwave推出新的LD可靠性和老化测试系统LRS-9424[1]。该产品特定明显,它的密度高于其他商用系统近两倍,而且温度范围广,从25°~150°都可实现,在做到这一切的同时还保持着很高的精度并。这套系统基于前代的推广成果,精度高,价格更加便宜,可操作性强,机箱内一次可装有1024个被测原件,体现其显著优点就是提高了产量也降低了成本。这套系统能够同时完成一个温度下的32中分离测试。在精确控制控制的作用下可使其长期稳定性保持在0.1%的高水准,即使在断电的情况下也可以保证数据的连续性。更加突出的是,这款设备配备了性能优秀的控制软件,能够快速处理数据和加强数据导出能力,满足客户多层次的需求。

综上,国外的检测技术已经发展的相当成熟,诸多公司的以系列化的产品向客户提供多类型 可靠的解决方案,当然不可避免得需要付出很高的成本。

1.3  国内发展现状

在这个方面的发展我国起步晚,但是国家十分重视,随着激光二极管的广泛应用,对其参数的测量工作也越来越受到重视。比较典型的就是北京海特光电有限责任公司、北京锐特锐光电技术有限公司和我国的各大激光器研究所等[1]。

1995年6月,北京邮电大学的纪越峰等人研制了一种便携式自动测试仪,实现了L-I-V基本测试,还能作为光功率计使用[1]。体积小性价比高,具有首创性。但是也有未对LD进行温度控制设计这个缺点。

2001年,在武汉理工大学学报上报道了一种自动测试系统的研制,可以对生产过程中各个工序中LD的性能进行测试,并且实现了计算机自动化控制,但温度控制效果不明,不具有扩展性[1]。

同年,清华大学的薛林等介绍了一种系统,能够自动完成LD的V-I曲线、L-I曲线、阈值电流、外量子效应的测量工作[2]。温度精度优于0.1°。

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