随着现代材料科学与电子信息科学技术的交叉渗透和全面发展，全固态化的 各类片式高频、微波滤波器和中频滤波器，向着高性能、低成本、小型化、高频 化等各方面飞速发展。

1 高温超导滤波器68446

高温超导体的发现，是 20 世纪基础研究的一个重大成果。尤其在最近 10 年， 人们对高温超导体的电性能的研究取得了很大的进步。与此同时，一大批性能卓 越的高温超导微波无源器件也相继诞生了。高温超导（HTS）材料具有接近于无 损耗的特性，因此利用它可以构成高性能的微波谐振器、滤波器、多工器和天线 等。利用高温超导（HTS）薄膜可以构成微带、带状线、波导滤波器等。这些滤 波器都具有极高的无载 Q 值、理想的微波特性、极低的插入损耗和带内衰减，并 且有非常陡的平移特性，而且滤波器的尺寸可以做的很小，易于与其它微波集成 电路元件集成。这样可以充分利用信号频带，增加互不干扰的信道数量，并能避 免传输失真，超导滤波器不仅带内衰减低，而且相位延时和色散特性也会大为改善，具有诱人的发展前景。

2 LC 滤波器

利用单片微波集成电路（MMIC）技术和微电子机械系统（MEMS）制作电容 和电感，可在高频段获得高 Q 值和高稳定的低电感与低电容值，而小型紧凑的多 层结构可以减少寄生参数。同时通过调制层微调电容量和改进线圈设计等方法克 服 L、C 离散，获得稳定的谐振频率。新技术的使用使得微波滤波器向小型化、 低功耗方向发展。论文网

3 声表面波（SAW）滤波器

射频 SAW 滤波器以其小型轻量以及优秀的性能价格比，被人们广泛应用于 各类移动电话的级间带通滤波。新一代移动通信进一步促进了 SAW 滤波器继续向 小型化、高频化、复合化发展。早期的 SAW 普遍采用 3.0x3.0（mm）的尺寸规格， 现在随着微电子技术进入亚微米时代，0.4-0.5mm 加工技术已经成熟，可以满足 1.8-2.4GHz 频段 SAW 器件 IDT 的设计要求。