2001年K。R。Freishclad[11]提出了旋转剪切方法,该方法方法也是以传统三面互检法为基础提出的。与奇偶函数法和Zernike多项式拟合不同的是该方法在复原三个被测平面的波面时,采用了傅立叶变换。

    1984年P。 B。 Keenan[12]提出了一种新的测量方法,即为伪剪切干涉测量技术。伪剪切干涉测量技术[13]主要是通过在某一固定位置的标准平面和被测平面的测试结果同两个垂直方向移动后的标准平面和被测平面的测试结果之间相减并进行累加,从而得出被测平面的绝对面型。这种方法的数学表达更为简洁,同时可以给出参与测量的干涉仪系统的误差。

    斜入射法区别于以上绝对检测方法,上述方法均采用正入射条件进行的,当被测件为高反射率的光学表面上时,为保证测试的干涉条纹对比度,一般采用附加光强的方法,将引入投射波前畸变,从而降低测试精度不利于绝对测量,故一般采用斜入射的方法[14]。Evans等[15]人提出的斜入射绝对检测方法采用三步检测测试平面的水平和竖直方向的绝对轮廓,此方法相较于三面互检法操作简单并且增大了被测平面在倾斜方向上的测量范围。

    在国内关于这方面的研究一直是一个热点,国内浙江大学、南京理工大学等[1][16][17]单位对平面绝对检测的方法也有不同程度的深入研究。

    虽然绝对检测测量研究日益完善,但其中依然包括关于针对干涉仪和环境的误差,包括环境的震动、空气的扰动、探测器的噪声、温度的变化,和人员操作上的误差。

    在三面互检法中在互换、旋转和翻转时被测平面的空间坐标轴对准。但实验中度盘的偏心、机械轴和旋转轴的偏移、机械轴和光轴的偏心都会影响测量结果的正确性。同时由于测量周期过长,环境温度变化的影响也会引起误差。在伪剪切绝对检测实验中,被测平面需要在两个互相的垂直方向上平移一个像素,当平移量不正好为一个像素时就会引入误差,使计算结果不精确。在斜入射绝对检测实验中,由于旋转测试面引起的旋转角度误差另外包括在各个方法中,检测过程中对平面所产生的镜面变形等多种误差。

    在现在的研究中为验证平面绝对测量方法的可靠性,在仿真中一般采用恢复测试平面和测试平面相减的方法,此方法无法在实践中绝对证明所选用的平面绝对检测方法的可靠性。并且验证误差的大小。

近期仅在个别篇关于光学平面绝对检测的论文中提出了“非相关误差”这个词汇,并且该词汇设定的范围需剥除噪声影响。“非相关误差”这个概念还没有被深入的、系统的、完全的讨论过。本文将使用非相关误差的方法可以更为准确的验证所选平面绝对测试方法的可靠性。

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