高辉[13]通过理论和实践，对等厚干涉仪如何测量平晶平面度这一方面进行了分析研究。首先，他对干涉仪的结构和光路进行了相关分析,在确定了干涉仪的改造可行性后,对干涉仪进行了以下改造：加装了激光器、相机、标准平晶支架等，然后对收集的干涉条纹图像进行滤波、细化等处理,并对被测平面镜的平面度进行计算，并对等厚干涉仪对长平面镜的拼接检测方法进行研究，最后对使用改造的干涉仪测试的误差进行进一步的研究分析。经过计算、实验验证,高辉改造的干涉仪能偶满足对Φ100mm以下的二级平面镜和210mm、310mm的长平面镜的检测要求。

为了测量口径1。5m的平面镜的面形精度，朱硕[14]搭建了一个瑞奇-康芒检测的光路，在其光路中，使用了一个口径1。8m，曲率半径15m的标准球面镜。通过测量得到的俩角度的测试波前数据，分析并计算平面镜的面形误差。得到的平面镜的面形结果：峰谷值PV =0。391λ(λ=0。6328μm)，均方根误差RMS值为 0。0181λ(λ=0。6328μm)，并给出了平面镜面形的误差情况。最终，朱硕用瑞奇-康芒法完成了对1。5m口径的平面镜面形的检测工作，从而实现了大口径平面镜的高精度检测。

袁吕军、邢娜[15]提到：通常有两种干涉检测方法可以实现高精度的大口径平面镜的检测：第一种，直接检测法,但大口径平面镜的检测受到实际制作工艺的限制。直接检测法所采用的干涉仪口径至少要与被测平面的口径相同。而目前，国内的最大的平面干涉仪的检测口径为800mm,也就是说，如果被测平面的口径大于800mm，那么干涉仪的制作难度和成本都会很高；第二种：瑞奇-康芒检测法,被测平面的口径可以很大，并且其检测成本相比于其他方法来说，有所降低。瑞奇-康芒法是一种使用频率较高又行之有效的方法。采用瑞奇-康芒检测法，可以用小口径的干涉仪对大口径光学平面进行检测，从而降低成本。