光的干涉现象被我们人类首次注意大约是在200年前。比如说，人类最早的光的干涉现象是著名的杨氏双缝干涉实验，自此实验后，人们开始有计划地控制实验条件产生光的干涉现象，它是在1701年，由托马斯·杨（Thomas Young）通过点光源照明双缝板产生的光的干涉条纹。文献综述

此后100多年间，再也没有出现新的理论成果，直到1860年，麦克斯韦（C.Maxwell）提出了电磁场理论，这给光的干涉技术带来了福音，为其奠定了理论成果。“以太”漂移在人们看来一直是玄幻神秘的，1907年诺贝尔物理学金奖的获得者迈克尔逊（A.Michlson）于1881年设计了干涉实验来测量它，但结果证实它是不存在的。然而，用干涉技术来测量光并没有被广泛传播开来，直到最近50年，人们才开始有这样的想法。光的干涉技术的快速发展应该感谢美国人梅曼（Maiman），1960年成世界上首台红宝石激光器是由他研制出的，从此光的干涉技术有了一个质的飞跃。多亏了利用移相干涉原理、外差干涉原理设计的各种新型干涉仪的广泛应用，从此干涉技术开始朝超短波、超大口径、瞬动态以及纳米、亚纳米分辨力和高准确度的方向发展了。

1.2 .1泰曼干涉测量技术

 （a）干涉光路             （b）测试光路的改造（被测件与测试反射镜之间）

（c）测试光路的改造（分束镜与被测件之间）

1—光源；2—聚光镜；3—可变光阑；4—准直物镜；5—分束镜；6—参考反射镜；

7—被测件；8—测试反射镜；9—观察物镜；10—观察光阑；11—毛玻璃屏

如图（a）所示是泰曼干涉仪测量透镜时的干涉光路[1]。由光源1发出的单色光经聚光镜2会聚于可变光阑3的小孔上，小孔位于准直物镜4的焦点上，故光束通过物镜4后成为平行光投射到分束镜5上，该平行光经分束镜后分成两部分。一部分参考反射镜6后按原路返回，成为参考光束；另一部分通过被测件7，源:自~优尔·论`文'网·www.youerw.com/ 射向测试反射镜8后返回，称为测试光束。这两支光束经分束镜再汇合，经观察物镜9聚焦在光阑10上，生成光阑3的两个小孔像。操作者在距光阑10约150mm处观察小孔像，调节测试反射镜使两个像重合，轴向移动参考反射镜，使两支光的光程大致相等。这时，眼睛位于光阑10处向里观察，同时，细调测试反射镜8，可以看到对比度较好的干涉条纹。这种条纹属等厚条纹，其定位面在参考反射镜附近，但由于光阑3开孔很小，而且参考光束和测试光束在前后很大的范围内重叠在一起，故可在光阑10处很大的深度范围内观察到清晰的干涉条纹。也可在光阑10处或附近放置相机，调焦拍摄被测系统光瞳面上波像差所对应的干涉图。

    上述泰曼干涉仪的光路是用于测量透镜的，这样的干涉仪又称为泰曼透镜干涉仪。如将图中的测试光路改成图（b）或图（c）的光路，则课用于测量平面光学零件的波像差或者表面面形，这样的干涉仪称为泰曼棱镜干涉仪。兼有这两种用途的泰曼干涉仪统称为泰曼棱镜透镜干涉仪。