离子渗碳、渗氮、碳氮共渗技术具有长远已久的发展史，在表面处理技术中已达到相对成熟的水平，很可惜有一些缺点仍然没有得到优化，工件在高温环境中容易变形，产生的废气会污染空气，需要在真空下进行，所以对设备的要求很高。