模拟为基础的解决方案中的负载平衡问题英文文献和中文翻译(2)

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有必要考虑提前发送晶圆过程控制后，在一定的时间量（即范围从一个转移到两天）预发送的晶片为特定的步骤是必要的每一个特定的产品和特定的掩模层。因此，第一晶片是从特定随后推出。此发送反超晶圆将以开发和过程控制的步骤所构成。如果过程控制忠不失败，其余晶圆可以暴露很多。否则，某些曝光参数必须发生变化，晶片会进行新的发送，预发硅片步进具体的。请注意，形成的数量减少是因为需要提前发送晶圆。晶圆最后作为前送WA-FERS，从而进行同规格的下一个步骤。

在该示例中，有不同的步骤，每个步骤和分组的特征之一是大小，掩模上的步骤中，可以用来的一个子群。另一个用于物业分组技术的地段，在原则上讲可以运行在一定的步进。

三、问题的声明

仿真模型的发展目标之一是建立一个工具，可用于生产控制的人工作防老剂找出最好的产品依赖负载分布在步进电机的不同分组前重刑释放到晶圆厂的地段。请注意，所有的地段，倾向于释放在时间t的实际释放到晶圆厂。我们不感兴趣，以决定是否释放一定很多有道理，还是没有。但是，我们有一个一定的自由度，在选择步进子群处理了很多。这一决定是有效的，直到很多移动满分晶圆厂。戴面具的类型被定义为大量释放时间，也就是说，需要处理大量掩模尺寸。这个决定影响派遣地段晶圆厂黄光区，因为它基本上是一个决定抽签分配到步进群。在我们的研究中，我们使用下面的全球执行ANCE措施。

1．每遮罩层的周期时间在这里，我们用IPCT平均周期时间批次产品IP。符号IPNML用于掩模层的数目的IP。

2．平均迟到

3．在前面的步进电机的平均轮候时间

请注意，这些性能的措施也可以用来作为生产控制的性能指标背离MENT。我们感兴趣的是一个开发和测试方法，该方法能获得更好的值都I PCTML，和AWT就目前的做法。

四、模型与方法

我们建立了一个仿真模型的全晶圆厂。出于这个目的姿势，我们使用模拟器AutoMod的™/以AutoSched的的™9.1/6.1 AutoSimulations。 ASCII文件，规范IFY模型，自动生成的制造执行系统（MES）和输入步进电机以外，我们公司使用了特定的COMbined调度规则，即临界比例的基础上（参阿瑟顿和Atherton以1995定义的关键比很多）。此规则包括额外的优先事项单手（例如很多为原型）和特殊技术。作为第三个组成部分的规则，松弛被认为是一个小，重量轻。导出后优先级队列中的很多，我们使用批处理规则形成批次AutoSched的。我们的模型序列依赖一些工具组的设置时间。为我们使用这些工具组的组合设置避免的ANCE规则和我们的基本调度规则。基于每周晶圆厂的生产计划（认为能力CON-straints），释放了很多在工厂是均匀分布可归因超过一周。更先进的批签发规则（参见Fowler等人。 2001年，罗斯2001年）并没有考虑到AC-计数。根据调查，在晶圆厂光刻区域形成了一个瓶颈（计划）。由于瓶颈工厂有一个显着的影响力在执行ance的整个晶圆厂（参见阿瑟顿和福勒），我们模型步进工具详细地。一等奖资源规划（ERP）系统及其他公司特定的数据库（见僧侣峰和施马尔富斯2000A）。

这有利于工作，给一个正确的模型图片晶圆厂中的现状。

4.1数据

数据其中一个主要问题是正确地确定处理对步进电机的地段倍。处理时间会有所不同作为晶圆数的不同的结果，在相关的不同，产品和依赖层，暴露时间和因为不同的产品依赖数量的前曝光步骤。我们发现，变异系数在步进机上的处理时间是（依赖于产品组合）在大多数情况下大于一。一份特殊的DA-tabase开发，所有产品依赖形成与光刻问题是存储（曝光时间，曝光步骤的数量的奉献，步进电机重刑）。此信息是用于自动生成的仿真模型。完整的处理一列火车的时间由下式给出：