2.实验

2.1使用涂料的分类

九种不同的涂料。涂料分类在五组根据他们的成分(表1),A组的所有PVD硬涂层B,D被阴极真空电弧蒸发沉积,C组混合过程的真空电弧蒸发和磁控溅射[16]。A组总结单层涂层与越来越多的不同成分的AlTiN铝从AlTiN 1 AlTiN 3(Al50Ti50N,Al55Ti45N Al67Ti33N)。文献综述sB组包含单层Al67Cr33N-coatings不同残余应力状态。涂层与压缩残余应力称为“AlCrN C”与拉伸残余应力,这些“AlCrN T”。AlTiVXN双层混合AlTiVN / AlTiN-coating和播放VXN(厚度1 lm)。TiAlSiXN-coatings在D组表现出不同的层结构,两层播放TiSiXN(厚度2.2 lm)和多层交替TiSiN-AlTiN 10层。E组包含一个CVD涂层陶瓷代表氧化铝(厚度2 lm)和TiCN /锡夹层(厚度TiCN 3.5 lm,锡厚度7.6 lm)。涂层厚度测量磨小圆顶。每个涂层的硬度决定五测量的平均值2000 lN使用一下硬度计压头与80 nm齿顶圆角半径、5 s力增加和减少时间和停留时间3 s。深度解决散射向量的残余应力测量涂料是通用电气进行x射线衍射仪类型塞弗特XRD 3003埃塔装备有限公司Ka辐射(30 kV,40 mA)和一个2毫米直径的准直器