PVD刀具涂层设备关键零部件设+CAD图纸(3)
按工作原理来分类，PVD刀具涂层设备常用真空泵基本上可以分为几个类型:
旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。
定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵结合起来的一种复合式分子真空泵。
本文主要提供了PVD设备关键零部件设计的一种思路。
1.3 本文研究内容
目前我国对PVD设备关键零部件的设计尚处于一个初级阶段，与国外设备研究技术还有一段不短的距离,。本文主要阐述了PVD刀具涂层设备关键零部件的几种布局思路并选择了其中最优布局，还对PVD设备的真空系统的前级机械泵做了详细的设计与计算。
（1）阐述PVD刀具涂层设备关键零部件的布局思路：
假定了三种不同方案，分析了三种方案各自的优缺点，并对方案进行了总结与选择。
（2）对PVD刀具涂层设备关键零部件进行分析：
对涂层设备真空系统的前级机械泵的一些主要参数进行设计计算，并分析了机械真空泵的工作性能原理。
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