除此之外,微电机在生物学、精密加工等其他领域研制开发及其应用将越来越被人们所重视。无论是目前还是将来,微电机都是世界各国的重点研究开发项目。
1.4  微型电机举例:音圈电机
音圈电机(Voice Coil Actuator)是一种特殊形式的直接驱动电机,具有结构简单、体积小、高速、高加速、响应快等特性。其工作原理是,通电线圈(导体)放在磁场内就会产生力,力的大小与施加在线圈上的电流成比例。基于此原理制造的音圈电机运动形式可以为直线或者圆弧。[5]
音圈电机的工作原理是依据安培力原理,即通电导体放在磁场中,就会产生力F,力的大小取决于磁场强弱B,电流I ,以及磁场和电流的方向,如果共有长度为L 的N 根导线放在磁场中,则作用在导线上的力可表示为:
                         (1-1)
音圈电机是单相两极装置。给线圈施加电压则在线圈里产生电流,进而在线圈上产生与电流成比例的力,使线圈在气隙内沿轴向运动。通过线圈的电流方向决定其运动方向。当线圈在磁场内运动时,会在线圈内产生与线圈运动速度、磁场强度、和导线长度成比例的电压(即感应电动势)。驱动音圈电机的电源必须提供足够的电流满足输出力的需要,且要克服线圈在最大运动速度下产生的感应电动势,以及通过线圈的漏感压降。
 图1.2 CCD调焦用VCM电机结构图
近年来,随着对高速、高精度定位系统性能要求的提高和音圈电机技术的迅速发展,音圈电机不仅被广泛用在磁盘、激光唱片定位等精密定位系统中,在许多不同形式的高加速、高频激励上也得到广泛应用,如:光学系统中透镜的定位;机械工具的多坐标定位平台;医学装置中精密电子管、真空管控制;在柔性机器人中,为使末端执行器快速、精确定位,还可以用音圈电机来有效地抑制振动。
基于安培力原理制造的音圈电机,是结构简单的、无方向转换的电磁驱动装置。 其具有可靠性高,能量转换效率高等优点,越来越多地用在各种直线和旋转运动系统中。加上音圈电机的快速、平滑、无嵌齿、迟滞响应小等特性, 使音圈电机可以很好地应用在需要高速、高加速度、直线力或转矩响应的伺服控制系统中。[7]

2.  微电机测试技术概述
检验是微电机生产过程中一项最重要的步骤。而最重要的是对产品的最终测试。对此,目前微电机行业现在基本上都采用计算机控制的自动测试系统。随着计算机技术的迅猛发展,全虚拟仪器的电机测试系统,设有显示仪,控制器和功率仪,用软件代替大部分硬件,实现计算机全虚拟化测试。
2.1  虚拟仪器
1986年美国国家仪器公司NI(National Instruments)首先提出了虚拟仪器的概念。所谓虚拟仪器(VI,Virtaul Instument)是指通过程序将计算机与功能化模块结合起来,用户可以利用计算机强大的数据处理存储图形环境和在线帮助功能,建立图形化界面的虚拟仪器软面板,完成对仪器的控制数据分析存储和显示,改变传统仪器的使用方式,提高仪器的功能和使用效率,大幅度降低仪器的价格,且使用户可以根据自己的需要定义仪器的功能。[8]
虚拟仪器    传统仪器
开放性、灵活,可与计算机技术保持同步发展    封闭性,仪器间相互配合较差
关键是软件,系统性能升级方便,通过网络下载升级即可    关键是硬件,升级成本较高,且升级必须上门服务
价格低廉,仪器资源可重复率高    价格高昂,仪器间一般无法相互利用
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