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    摘要随着倾斜沉积方法制备的雕塑薄膜作为一种新型的可控材料引起广泛关注，微观形貌仿真、实验过程模拟、特性计算等计算机辅助方法使雕塑薄膜制备工艺建立在更可靠的科学基础上，因而在该领域中起到越来越重要的作用。8321
    本论文首先介绍了薄膜的生长理论及发展过程，对比一些仿真算法最后得出蒙特卡洛仿真法最适合对薄膜生长进行仿真模拟，随后讨论建立动力学蒙特卡洛仿真模型，运用MATLAB软件进行编程，对不同温度、沉积速率下薄膜生长形貌的进行模拟得出结果。由于在薄膜的三文生长中表面扩散比层间扩散的发生概率大得多，本论文在二文生长研究的基础上，建立了弹道入射的薄膜三文蒙特卡洛仿真模型。
    关键词： 雕塑薄膜   蒙特卡洛   仿真模拟
    毕业设计说明书（论文）外文摘要
    Title  Sculpture film growth process simulation  
    Abstract
    Caused widespread concern with the tilt the sculptures film deposition method as a new type of controllable materials, microstructure simulation, experimental process simulation, the characteristics of computer-aided method for computing the sculpture, film preparation process is the establishment of more reliable scientific basis.Therefore it plays an increasingly important role in the field.
    This paper first introduces the theory and development of the film growth process, the contrast simulation algorithms came to the conclusion that the Monte Carlo simulation method is most suitable for the simulation of thin film growth, followed by a discussion of the establishment of the kinetics of Monte Carlo the Luo Sanwei simulation model, the use of matlab softwareprogrammed for different temperature, deposition rate of thin film growth morphology simulate the outcome. Much greater probability of proliferation than the interlayer diffusion in the three-dimensional growth of the film surface, the papers on the basis of two-dimensional growth, the establishment of a ballistic incident film Vermont Carlo topography simulation model.
    Keywords  sculptured thin film, Monte Carlo, analog simulation
    目   录                                          
    1  绪论    1
    1．1  系统仿真技术    1
    1．2  课题开展的意义与目的    1
    1．3  课题主要研究内容    3
    2  薄膜生长理论    5
    2．1  薄膜的介绍    5
    2．2  薄膜生长理论的发展    5
    2．3  薄膜生长的过程    8
    3  薄膜生长的仿真算法    10
    3．1  一些常见的仿真算法    11
    3．2  蒙特卡洛算法的基本思想    11
    3．3  蒙特卡洛算法的收敛性和误差估计    12
    3．4  蒙特卡洛算法的特点    13
    3．5  蒙特卡洛算法在薄膜生长仿真中的应用    14
    4  薄膜仿真及结果    14
    4．1  仿真模型    16
    4．2  仿真流程示意图    20
    4．3  代码和结果展示    21
    结  论    28
    致  谢    29
    参 考 文 献    30
    1    绪论
    1.1  系统仿真技术
    系统仿真技术是随着计算机的诞生而开始发展的，它综合了系统科学、控制理论、计算算法、自然科学等学科，以计算机和专用的设备为工具，以物理模型和数学模型为基础，通过一些数值计算方法，对已存在的或者尚不存在的系统进行模拟、分析、研究和设计。目前计算机仿真技术被用于许多研究领域并迅速发展，不仅为科学理论研究提供了有力的辅助工具，也为各类工程或者非工程系统的在分析、综合等方面提供了一种研究方法和有力的手段。随着信息科学和计算机水平的不断进步，“仿真”的概念也不断得以发展和完善。目前的系统仿真是为了有效地认识并评价一个系统的各种状态或者运行策略而设计一个与实际系统类似的模型，并通过运用合适的算法或者其他设备来对该模型进行实验。从仿真实现的角度来看，模型特性可以分为连续系统和离散事件系统两大类，分别对应为连续系统仿真和离散事件系统仿真：
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