摘要：从光学薄膜干涉的基本原理出发，介绍了光学薄膜几种常见的的制备方法，比如物理气相沉积法、离子辅助沉积法、溶胶-凝胶法等,并且简单介绍了这些制备方法的利弊。然后研究了它在对减反射膜、高反射膜、分光膜、干涉滤光片等方面的应用，并各自简要分析了它们在制备中的问题和使用过程中的优缺点，最后介绍了光学干涉薄膜新的发展方向并对它今后的发展做了展望。90887

毕业论文关键词：薄膜干涉；光学薄膜；制备；应用

Abstract: Based on the principles of the optical film interference, several common preparation methods of it are introduced, like physical vapor deposition ,ion-assisted deposition,sol-gel method and so on, and the advantages and disadvantages are introduced。 and then this paper studied the application of AR coating, high reflector, neutral beam splitter and interference filter, and their respective advantages and disadvantages of their preparation and their use are analyzed in bridf。 finally, the new development directions of the optical film interference are introduced briefly, and its future developments are introduced in this paper。

Keywords: film interference; optical film; preparation; application

目录

1  前言 4

2  光学薄膜干涉的原理 4

3  光学干涉薄膜的制备 6

3。1  物理气相沉积法 6

3。2  反应离子镀膜法 6

3。3  离子束辅助来自优I尔Y论S文C网WWw.YoueRw.com 加QQ7520~18766 沉积法 6

3。4  溶胶-凝胶法 7

3。5  气相混合蒸发法 7

4  薄膜干涉技术的应用 7

4。1 减反射膜 7

4。2  多层高反射膜 8

4。3  分光膜 8

4。3。1  波长分光膜 9

4。3。2  光强分光膜 9

4。3。3  偏振分光膜 10

4。4  干涉滤光片 10

4。5  光学干涉薄膜技术新的发展应用 11

结论 13

参考文献 14

致谢 15

1  前言

薄膜干涉对很多人来说可能有点陌生，但是生活中却随处可见，修车师傅清洗零件的时候，水桶里会有洗下来的机油，机油在水中散开之后，此时在太阳光下就可以看到五彩斑斓的颜色。这是很贴近生活的一种现象，很多人都不知道为什么会这样，其实这就是我们所说的薄膜干涉现象。

20世纪30年代以来它在人们的生活，工业，军事，科学研究，光通信等方面的广泛应用，也得到了人们的日益重视，而在当今这个科学技术发达和人们需求日益增长的时代，薄膜干涉技术更是获得了蓬勃的发展，也使得薄膜干涉成了更为凸显与活跃的话题。

本文通俗的阐述了薄膜干涉的基本原理，进而介绍了几种常见的光学薄膜和干涉薄膜的制备方法，然后对目前常见的干涉薄膜的应用做了研究，希望使人们了解到光学薄膜干涉技术的应用的重要地位。

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