2012年，台湾大学利用MetalMEMPS工艺制造出宽驱动频率双解耦的硅微机械陀螺仪，大大提高了陀螺仪的带宽，能在240Hz带宽以内的任何频率起振，提高了陀螺仪使用的方便程度，其灵敏度达到4.28mV/rad/s。

2013年，佐治亚理工学院研发出了一种高频谐振矩形BAW陀螺。这种陀螺利用压电环能，不需要施加DC极化电压。这种陀螺仪频率为11MHz，线性速率的敏感度达到了20.38μV/°/s。

2014年，南京理工大学MEMS研究所研发出36-7硅微机械陀螺仪，该陀螺仪品质因数达到了10000，频差为0.3kHz，实验室环境下，量程为±300°/s，零偏稳定性优于1°/h，标度因数非线性优于50ppm，角度随机游走优于 。

1.3  国内外陀螺仪温度误差研究现状

1.4  论文主要内容

本次毕业设计通过结构分析与系统分析找出影响硅微机械陀螺仪标度因数和零偏的重要因素，利用有限元仿真软件ANSYS和系统仿真软件MATLAB对陀螺温度特性分别进行结构和系统分析，掌握零偏与标度因数随温度变化的机理，并通过实验进行验证。

具体安排如下：

第二章介绍了Z轴双质量陀螺仪的结构与基本原理，对影响硅微机械陀螺仪精度的误差来源进行说明，并对其中影响较大的部分以及对温度所影响的硅微机械陀螺仪相关量进行详细说明。

第三章对Z轴双质量陀螺仪的标度因数与零偏的温度特性进行进一步的理论分析与实验研究。借助MATLAB与ANSYS仿真软件对模型进行分析处理与验证。

结论中，对整篇论文进行总结。