本文对存在机械扰动的情况进行系统的分析和研究，并且给出可行的办法，最后进行仿真实验验证该办法的有效性。

2  移相干涉测量

Bruning在1974年将附加相位引入到干涉仪参考臂中，然后处理多帧干涉图从而得到相位信息，最后恢复出被测表面的形态，提出了移相干涉技术 [11]。把相移干涉技术引入到传统干涉仪上，这使得传统的干涉仪的精度大幅度提高。经过几十年的发展，如今移相干涉技术已被广泛应用到面形检测和像质检测之外的领域，随着时间的发展，移相干涉测量的应用将越来越广泛。

2.1  移相干涉测量的原理

移相干涉测量术(Phase shifting Interferometry,PSI)原理是将有序的位移加入到干涉仪的相干光相位差中, 随着相位差的有序调制，干涉条纹的位置相应的移动,使干涉场中每个点的光强呈余弦变化,并用CCD对干涉图进行多幅图像扫描, 然后帧存储器存储干涉光强的数字信息,再按一定的数学模型由计算机进行解算且提取出被检相位分布,最后得到被测表面的面形及其它评价参数。

图1为移相干涉测试的原理图[4]，图中,一理想光源发出的光束先经过透镜后经分光镜分光成两部分,一部分作为测试光被反射到被测光学元件再返至分光镜,另一部分作为参考光透射到标准参考镜表面再回至分光镜，在分光镜处参考光和测试光两部分光相遇而相干叠加,形成干涉场。这样两部分光的相位差中既包含反映被测元件表面的平整度的信息，也包括相移器附加的相位。再由CCD图像采集系统接收，所得的视频信号被输入计算机中计算，然后将移相指令传送到PZT驱动电源,使得PZT移相机构将相位调制施加在参考波前上即移相，这时候CCD会扫描干涉场,计算机就能依照CCD得到的多帧数字化移相干涉图对被测波面进行分析与计算[3]。

图1. 移相干涉测量的原理图

2.2移相干涉测量的精度影响因素

任何测量的过程都会存在着或多或少的误差，即测量精度会受到影响，移相干涉测量也不例外，以下就是几个主要的引起误差的几个方面：

（1）激光的稳定性。激光器的频率稳定性影响着移相干涉测量重复性的准确度，所以要采取措施使得激光器的稳定性不会影响实验所允许的误差范围。

（2）干涉仪标准光学元件的质量。参考波面的最大精度和被检波面的精度是一致的，所以标准光学元件的质量决定了干涉仪的测量精度[3]。

（3）移相器的非线性。PZT形变不是线性的，它推动移相器移动时也就不是线性的，于是就会引入误差。

（4）外部环境的影响。这个是最主要的限制因素，外界的振动无处不在，即使很细微的变化都会对测量产生干扰，使得干涉仪各部件的位置都会发生变化，引入相位误差，测量结果就会不准确。

3  PZT机械扰动研究

因为有PZT机械扰动的干扰，在进行测量的时候，倾斜误差就会被引入相移器中，这是干扰移相干涉仪的测量准确性的主要因素之一。为了解决这一因素对干涉测量的影响，需要对它进行进一步的研究。