摘 要：薄膜干涉的研究及应用对于实际生活的帮助越来越大，范围也越来越广泛。本文分别对等倾干涉和等厚干涉两种典型的薄膜干涉原理进行了系统的阐述，总结干涉图样的特征，并介绍两者在各个领域的实际应用。等倾干涉主要应用于光学器件表面镀膜技术，如增透膜或增反膜。等厚干涉则被广泛应用于光学系统表面质量的检验，微小角度或者线度的精密测量等。以薄膜干涉为基础，光学薄膜器件得到了越来越广泛的运用，更多高性能的、复杂的光学系统才得到实现。56863

毕业论文关键词：薄膜干涉，等倾干涉，等厚干涉

Abstract: Research and application of thin film interference give a growing and increasingly broad scope for our real-life. Interference of equal thickness and interference of equal inclination are two kinds of thin-film interference, whose principle are systematically expounded in the paper. At the same time, the features of the two kinds of interference are summarized, and the applications in various fields are introduced. Equal inclination interference is mainly applied into optical device surface coating technology, such as anti-reflective or increasing the membrane. Interference of equal thickness are widely used in the inspection of surface quality of optical systems, precision measurement of small angle or line, and so on. Based on thin-film interference, optical thin film devices are more and more widely used, more high-performance, complex optical systems to be realized.

Keywords: thin film interference, interference of equal thickness, interference of equal thickness 

目  录

1  引言 5

2  光学薄膜干涉原理 5

2.1  干涉原理 5

2.2  等倾干涉 6

2.3  等厚干涉 8

3  薄膜干涉的应用 10

3.1  等倾干涉应用 10

3.2  等厚干涉的应用 14

结论 17

参考文献 18

致谢 19

1  引言

随着现代科技的迅猛发展，各种领域变化的日新月异，人们对于仪器零件和机器零件的精确度要求也越来越高。比如最近几十年蓬勃发展的航天事业，一架航天器由数十万零件组成，任一零件的不合格都可能导致像美国哥伦比亚航天飞机失事那样的惨剧。因而，高精度测量技术的研究发展成为必然。干涉测量技术作为一种高精度测量技术正逐渐走入人们的视野，得到人们的青睐，被运用到广大的有高精度测量需求的领域中去。源Y自Z优尔W.论~文'网·www.youerw.com

干涉测量技术的基本原理是薄膜干涉。光的干涉现象是指两个或者多个光波（光束）在某块区域叠加的时候，在叠加的区域，出现的各点光强度稳定的强弱分布现象[1]。在光学表面的检验、微小的角度或线度的精密测量、增透膜和干涉滤光片的制备等其他光学领域，薄膜干涉都得到了广泛的应用。薄膜干涉主要分为等倾干涉和等厚干涉。应用这两种干涉原理可以解释一些生活中的有趣现象。比如，肥皂泡之所以呈现出五彩斑斓，就是由于太阳光在肥皂泡的表面产生了干涉的结果。而光学透镜表面镀膜、精密测量的应用等更是不胜枚举，足可见在这一百来年的光学干涉方面的研究应用展现出强大生命力。本文将致力于介绍薄膜干涉基本原理，并说明其相关应用。