结  论 24

致  谢 25

参考文献 26

 1  引言

1.1  课题的研究背景及意义

由于现代科学技术的进步，干涉测量技术已经得到了相当广泛的应用。一方面是因为微电子、微机械、微光学以及现代工业提出了越来越高的精度和更大量程的要求，其它方法难以胜任；另一方面是因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适合恶劣环境等特点，因而在现代工业中得到了非常广泛的应用。

近些年来随着我国科学技术的飞速发展，在很多大型生产和生活当中都需要进行精密的检测工作。通过与标准样本的对比（如：干涉图样的缺损、干涉条纹歪曲度形变等等）来比较检测结果的好坏。通常使用的干涉法主要为标准面干涉法。而剪切干涉则属于共路干涉当中比较具有典型性和代表性的一种。光学干涉检测技术都是经常使用的可靠方法。它不但应用于保证和控制零部件质量的传统方法外，还可以以广元质量及其衰变情况而对具体的光学系统作全面的波前的波面。随着光学技术的发展和生产工艺的提高，为了不断满足越来越高的各种光学测试，研究和发展了包括剪切干涉技术等在内的各种形式的干涉检测方法和装备以及干涉图形的处理技术，以把光干涉计量技术推进到一个新的阶段。文献综述

在现在的精密测量中，特别是光学检测中，光干涉技术一直占有很重要的地位。由于现代科学技术的飞速发展使得激光技术、干涉测量技术与计算机技术的结合赋予了光学干涉新的活力。在光学工程中，从光学零部件的质量检测到光学系统的优劣评价；从原来的经典的光学到正在流行的现代光学工程，其中大部分都是利用光学的各种干涉、衍射特性来实现和完成的。通过光学干涉的途径检测主要是利用两个波前，它们彼此之间所形成的干涉条纹特征来作为参考的依据，但仅仅有干涉条纹是不能反映原来的面型，必须通过一系列方法来还原之前的波面。在光学中，涉及反射和镜头的波前重建的几个问题。重建的问题往往引出未知表面的一阶差分方程。一类方法是直接集成，结果表明这种技术通常在实际中失败。因此我们考虑的一种方法是：提供一个近似的直接积分；我们假定它始终是收敛的，它提供了一个稳定的，即使在测量噪声的存在下的精确解。此外，我们考虑的一些方法是基于将原方程转化为一个最小化问题。这些方法包括：泽尼克函数法、多路径一体化法、有限差分法、直接最小化法以及傅里叶变换法。每种方法都有它的优点和缺点。

1.2  本课题主要研究的内容与工作

1.2.1  理论准备部分

1) 了解五种方法的原理。

2) 理解傅里叶变换法的具体原理及推导 。

3) 了解斐索干涉仪的具体原理。

4) 了解Zygo干涉仪的原理及所得数据。

1.2.2  课题研究内容

1) 研究了基于差分共轭干涉的波面检测系统。

2) 研究傅里叶变换法的具体推导

3) 研究差分共轭干涉并采用二维傅里叶变换法对单幅干涉图进行相位提取,通过傅里叶变换算法来复原真实的待测波面

4) 用matlab对傅里叶变换方法进行仿真，并与具体波面进行对比，研究其精确度。