（2）高亮度。因为激光的发散角小，所以能量集中在很小的一个区域，从而使得能量密度很高，所以亮度也会自然而然的高了。

（3）单色性好。光的颜色是由光的波长和频率决定的，而激光的波长分布范围很窄，因此颜色就比较纯。

（4）相干性好。两束激光的光波在空间相遇发生重叠，由于激光的频率、振动方向及相位都一致，所以重叠区的光强分布会出现稳定的强弱相间的现象，即为光的干涉。

1．2  激光准直的方案

传统的准直方法主要有垂线法、拉钢丝法、木工划线法以及之后的一些光学准直法。但是随着时代的变迁，这些方法渐渐地无法满足人们对于高精度以及远距离准直的需求。正是在这样的大环境下，激光准直就慢慢的被人们所关注。事实上，激光准直技术的发展也是离不开传统方法的传承的，一些方案也都是在传统方法上改进而来的。按照光的要素作用可以将现有的激光准直方法分成以下三类：振幅测量型、相位测量型、偏振测量型。

1.2.1  振幅测量型

利用激光方向性好的特点，主要通过以激光光束轴线为基准，当激光束打在接收器（四象限光电池或PSD）中心上时，如果四个象限存在电压差就表明没有对准，可以分析四个象限电压的具体值来反映偏差量。但遗憾的是，激光束很容易受到大气、激光束能量分布不对称等因素的干扰而使得精度受到限制。当然，为了克服这些问题，前人还是做了很多努力的，比如菲涅耳波带片法、对称双光束法、不对称位相板法等。

1.2.2  相位测量型

这是目前使用较为广泛的一种方法，它的特点是准直精度高，但是装置比较复杂，成本较高。工作原理主要是通过将物件的直线度的误差转换为激光干涉条纹的相位的变化量，并通过分析计算相位的变化量而得到直线度具体的偏差量。因为基准线不再是单束激光，而是测量光束和参考光束，就可以避免光束偏移造成的误差。相位准直的方法包括激光干涉准直法、直线光栅测量法等。本论文采用的就是激光干涉准直法。源:自~优尔-·论`文'网·www.youerw.com/

1.2.3  偏振测量型

采用这一方法的准直仪主要是激光旋光准直仪，它的工作原理是激光打到物件上时，将物件的直线度的误差转变为偏振方向的改变量，以来回激光束的对称轴为基准线的。这个方案也可以避免激光束偏移造成的误差，与相位法有相似的地方。因为主要利用偏振原理，所以与距离无关，那么测量的物件就可以在光路上移动而不对结果产生影响。

1．3  激光准直技术的发展状况

激光准直技术发展非常迅速。特别是近年来，在精度的控制上更是到了令人惊叹的地步。目前，在一些大型的高精度要求的设备上的准直一般都是用双频激光干涉仪来实现的。主要是因为双频干涉可以大大克服光束漂移造成的误差。比如美国LLNL国家实验室和空军Wright航空研究所等单位合作研制成功的LODTM大型精密机床中的激光干涉测量系统所采用的是专门研制的SP125型双频激光干涉仪 ，其输出功率仅为15mW，利用碘稳频技术得到高的测量稳定性以及分辨力。而国内也有机构做出双频激光干涉仪，测量的基准是激光的波长，能够实现0.1um/m的测量不确定度。

2  激光干涉准直原理

2．1  激光干涉测量法的分类

2.1.1  楔形板干涉法

激光发生装置发射的激光，由倒置望远镜准直扩束后达到楔形玻璃平板上，而该平板放置在被测物件上并呈一定的倾角，激光在该平板上的上下表面发生反射和折射作用而形成两束光束并在空间相遇发生干涉现象，形成干涉条纹。如果物件表面直线度变化，则干涉条纹将发生移动，而移动量可以通过光电转换器件处理，最后以物件表面的微小倾角的形式表征直线度的偏差。文献综述