摘 要 ： 移相干涉测量技术因其具有高测量精度和非接触式测量方式，在计量领域中应用 非常广泛。而干涉图之间的移相精度直接影响了移相干涉测量的精度，因此，关于干涉图 之间的移相步长的测量方式研究是必不可少的。利用利萨如图可以用来分析两个同频率信 号之间的相位关系。本文主要研究了影响干涉图光强所组成的利萨如图形状的因素，并实 际测量了一组移相干涉图之间的移相步长。 72657

毕业论文关  键 词 ：  干涉测量，移相步长，李萨如图形 

Abstract：For the high accuracy and non-contact testing, the phase-shift interferometry is widely

used in the field of metrology。 And the accuracy of the phase-shifting interferometry is mainly affected by the phase shift accuracy between interferegrams , Therefore, the study for the measurement of the phase shifting step is essential。 Lissajous figure can be used to analyze the phase relationship between two signals with same frequency。 In this paper the factors  affecting the intensity interferogram composed of Lissajous figure as shown are studied, and the actual phase step of a set of phase-shift  interferegrams   are  tested。

Keywords:  Interferometry  ,phase shifting   step, Lissajous   figure

目 录

1 引言 5

2 移相干涉测量的基本原理 5

2。1 移相干涉仪的结构 5

2。2 移相干涉测量的原理 6

2。3 李萨如图形对移相干涉图的移相步长的标定 6

3、李萨如图形的形成原理以及影响因素的分析 7

3。1 初相位差对李萨如图形的影响 8

3。2 调制度对李萨如图形的影响 9

3。3 背景光强对李萨如图形的影响 10

4、李萨如图形在相移干涉补偿标定中应用的 MATLAB 模拟仿真 10

结 论 12

参 考 文 献 13

致 谢 14

1 引言 

首先，在光学检测领域中，光干涉测试技术是公认的检验光学系统、光学元件和波像 差的最有效、最准确的手段之一，是以光的波长为计量单位的一种高精度、高灵敏度的计 量测试方法，也是应用非常广泛检测技术之一。测量条纹位置可以应用到干涉显微术、显 微拓扑术、光学检验、全息干涉术等；测量条纹可见度，则可以得出对称谱线形状、天体 直径等；测量强度分布可以应用到干涉光谱学、傅里叶光谱学、光学传递函数、射电天文 学等方面；在光学加工业中，对波面检测仪器有很多的要求，来用于各种用途、各种形状、 各种尺寸的光学元件的波面检测要求，其中波面干涉仪是应用最为广泛、测量精度较高的 检测仪器。其次，移相干涉测量相比较普通的干涉测量方法来说，具有更高的精确性和稳 定性，并且可以大幅降低在测量过程中的噪声干扰，但是移相干涉图之间的移相步长的精 度对移相干涉测量的精度影响很大，甚至可以说是决定性的因素。李萨如图形是两个沿着 互相垂直方向的正弦振动的波的合成轨迹[1]，可以很好的契合两列正弦波关系的研究，只 需要根据最终的合成轨迹即可很轻松的判断两列正弦波的相位差等信息，所以在研究两列 正弦波形之间关系中非常普遍。最后，本文分析调制度、背景光强以及相位差对李萨如图 形产生的影响，并运用李萨如图形一组移相干涉图的移相精度。文献综述