1。2。2 涂层的制备方法

1。3 本论文的研究内容

本文通过阅读相关文献，熟悉太阳能清洁能源的应用现状，理解基于表面辐射调控的光热转换机理，熟知光热转换材料的太阳能吸收特性。学习和掌握直流磁控溅射的使用方法，通过设计和优化，制备出高效的光谱选择性吸收涂层。本文借助直流磁控溅射设备，以Cu、W为金属相，SiO2为陶瓷材料，在石英玻璃上制备金属陶瓷选择性吸收涂层，并研究其光学性能。主要的研究内容有： 

（1）完成磁控溅射镍基金属陶瓷薄膜制备的工艺探索工作；  来:自[优E尔L论W文W网www.youerw.com +QQ752018766-

（2）完成镍基金属陶瓷薄膜宽波段的光谱分析；

（3）完成镍基金属陶瓷薄膜选择性吸收性能研究；

（4）完成镍基金属陶瓷薄膜的热稳定性研究。

2 实验装置和实验方法

2。1 实验装置

如前所述，制备光谱选择性吸收涂层的方法有很多种。磁控溅射是制备金属陶瓷涂层的一种普遍和高效的方法，相比于其它的涂层制备方法，磁控溅射有操作简单，溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，易实现工艺过程控制的自动化、涂层厚度均匀等优点。本文采用的是真空直流磁控溅射镀膜机来制备金属陶瓷涂层的样品。

2。1。1 薄膜的制备装置

本文采用的磁控溅射设备是中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司生产的高真空磁控溅射镀膜机，型号为JGP-800。该系统为单室结构，有四个溅射靶位，主要由真空系统、分子泵、气体流量计、水冷系统、真空计、直流、中频和射频辉光放电系统、以及基片温度控制系统等部分组成。