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微型弹簧的发展研究现状(2)
综上所述,作为微型执行器等重要组成部分,平面微弹簧在微机电系统中发挥着重要作用。目前微弹簧在材料的选取上应用比较广泛主要有金属和硅两大类。美军
研究
表明冲击环境下硅零件容易发生破碎,限制了硅质微弹簧在冲击环境中的应用。金属具有比硅更高的力学性能,更适合于冲击环境中使用,如美国已将铜作为微电铸安全与解除保险机构的主要材料。中国采用LIGA(微电铸)研制了镍基微弹簧,但其实际力学特性与理想状态差距较大。塑性微成形产品所用的材料大多数为软质材料,如黄铜、纯铜、纯铝与1000系列的铝合金,超塑性材料等,力学性能相对较低,不能够满足日益增长的可靠性和长服役寿命的需求,需要进一步开展力学性能更高的合金材料的微成形技术研究。
黄铜,Mg合金,非晶都可以作为生产微弹簧的材料,其中如果选择非晶的话,那就需要快速冷却才能生成非晶,这样就多了一道工序,导致费时费力又费钱。铝青铜具有机械性能高,加工性能好,耐磨,耐疲劳。铝青铜表面形成铜和铝的致密氧化膜,所以耐蚀,可防止高温氧化,热稳定性也很好,耐低温,熔点较高的有色合金,冲击时不生产火花等优点。
另外,开发一种具备质量优越、生产效率高、原材料节约等优越性的微弹簧新型塑性成形工艺受到了极大的关注。从宏观上看,冷挤压利用了金属材料冷变形时的冷作硬化特性,提高制件强度;提高制品的综合质量,获得较高的尺寸精度和表面光洁度。且在不破坏金属的前提下,冷挤压使得金属体积作出塑性转移,达到少或无切削而使金属成形,从而避免了在切削加工时形成的大量金属废屑,节省了金属原材料,降低成本。此外,冷挤压在压力机上进行,一次行程就可完成一道工序,操作容易,提高生产率,从而降低生产成本[34]。
综上所述,微挤压工艺相对来说简单而且可以用本校现有的实验仪器来做,再考虑到制作工艺及成本,所以本题目将以铝青铜为研究对象,微挤压为制备工艺。拟采用高强度QAl7铜合金制备MEMS系统用的金属平面微弹簧微挤压工艺,研究工艺对其性能的影响,同时寻找合适的工艺。为进一步研究平面微弹簧制备工艺提供基础材料。
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