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5 光切法
光切法基本原理是将一束平行光以一定的角度投射在被测平面上，通过观察光束与被测面轮廓相交的曲线像就可以得到被测平面的微观几何形状，从而计算粗糙度，此方法可以测量被测面微小峰谷深度，而且可以避免与被测平面的接触。光切法可以测量被测面轮廓峰谷的最大高度和最小高度，所以其受到物镜的景深分辨率限制[5]。而且当峰谷高度超出一定范围后，就不能在观察目镜的视场中呈现清晰像，从而导致粗糙度无法测量或者测量误差很大。但是鉴于此方法操作简单而且成本低，所以目前还被广泛运用