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19世纪液压技术开始走向工业应用，工业技术发展的需求，为液压技术的发展创造了决定性的条件。20世纪初控制理论及其应用飞速发展，使古典控制理论走向成熟，这为电液控制伺服技术的出现与发展提供了理论基础与技术支持。20世纪70年代，美国MTS公司研制出了以电液伺服系统为驱动的地震模拟振动台，将电液伺服系统与复杂机构结合起来，开创了基于电液伺服系统的系统集成设计的先河。6833
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电液伺服系统的研究，一直从两个方面来展开：一是电液伺服系统基础元件的研究，包括伺服阀和液压缸；二是电液伺服系统的控制方法与应用技术的研究。进入21世纪，电液伺服系统的研究日益活跃，无论从系统还是基础元件方面均取得了突出的研究成果