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20世纪60年代，激光技术不断发展，该技术逐渐被引入光声领域。最早是1963年，White[6]提出了用脉冲激光在固体中激发超声的方法。同年，White还演示了固体靶由于吸收激光、微波、电子束等辐射脉冲而产生弹性波的实验，不久又演示了用红宝石激光器激发，用梳状换能器接收表面波的实验，这标志着激光超声技术的开始。
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20世纪70-80年代，激光超声激发机制、模式和方法以及激光超声技术的应用的7084
研究快速发展，大量学者展开了这方面的研究。1976年俄罗斯的Bondarenko[7]等将应力波脉冲和Michelson干涉仪结合，首先将激光超声技术用于材料试验。1979年Ledbetter[8]等最先检测到激光可一次激发同时产生的纵、横波和表面波。1980年，斯坦福大学的Calder等[9]检测了25mm厚的铝板中心的人工圆柱缺陷。1980、1982年Scruby[10]、Dewhurst、Hutchins等对热弹条件下产生的超声波做了定量测量，分别用正交力偶、垂直力偶解释了热弹条件和融蚀条件下的激发现象，可以说奠定了热弹条件下激发弹性波的实验和理论基础。
国内对于激光超声的研究也做了大量的工作。2002年钱梦騄等人[11]利用激光超声技术对圆柱体表面波及其在表面应力状态的检测方面作了讨论。2006年，沈中华运用激光激发声表面波，对金刚石薄膜的力学特性进行了研究[12]。沈中华等对激光声表面波展开了广泛的理论和实验研究，理论上通过有限元方法研究了融蚀机制下双层结构系统中的声表面波[13]，对激光激发的近场声表面波进行了数值模拟[14]，还对激光激发的热弹应力场等进行了数值模拟