自由曲面测量技术发展现状横向检测干涉法[2]:横向剪切干涉仪胜过以前的波前测量干涉仪,因为它不需要参考。然而,它有一些问题需要解决才能实现。之前的波前重建算法假定剪切方向完全互相正交,横向剪切能同时在法向和切向得到。然而,对于实际的大规模集成电路,没有办法保证完美的两个剪切方向之间的正交性。出于这一点,提出一个能够补偿旋转误差的新算法。77165

PMD法[3]:PMD技术是一种测量自由晶体面型的方法。为了达到更高的精度和可重复性,出现了一种优化设置,它是通过适当调节相机镜头的焦距和人工屏蔽系统来取得更高的分辨率。证明了利用PMD测量人工晶体的精度和稳定性是足够的,进一步的工作将加强对优化拦截器和安装设备的研究。通过对人工晶体的控制系统,将会改善设置的重复性结果。他们打算使用一个优化的相机设置,以适应人工晶体的小横向场。

CGH法[4]:CGH法用于检测非球面,可通过衍射产生几乎任何形状的波前。CGH在设计和制作在旋转对称方式没有限制,具有易对准、精度高和效率高的优点,因此很适合用来实现自由曲面这类无旋转对称性的光学表面的零位补偿检测。但是对于一些与球面偏离量很大的自由曲面,将受到制作工艺的限制。如果系统中存在未被发现的相位误差,将会对测量造成影响。论文网

2  定中心装调技术发展概况

上个世纪五六十年代,东西德并提出使用三个独立的量来描述一球面单透镜的定中心状态。根据新的标准,人们对常用的中心偏测定和定中心方法进行了考核,对如何给定中心偏公差进行了讨论,并逐渐的发展了许多可靠的仪器。上个世纪六十年代,英国科学仪器研究协会(SIRA)把透镜的定中心问题作为主要研究问题之一,以改进光学零件的制造和光学系统的研制,经过研究发展了光电定中心仪。英国兰克精密工业公司在对透镜胶合技术的研究过程中,成功研制出了转盘式镜胶合机以及透镜胶合定中心仪。英国帝国科技学院物理系在透镜定中心领域进行了较为深入的研究,在对高精度的广角物镜的装校过程中,提出了一种利用激光干涉法的定中心方法,并以此研制出表面反射式中心偏测定仪。[5]

从1980年开始,国家标准总局历经四年多的研究,在透镜中心误差工作小组的努力下,于1984年9月将透镜中心偏差国标标准制定完成。1987年2月通过了国标标准总局的批准,并于1987年12月1日正式实施。

近年来,随着资金的投入和关注度的提高,国内愈来愈多的企业、大学和研究单位先后研制出多种多样的定中心仪器,包括激光定中心仪、内调焦定中心仪、光电定心仪、反射式胶合定中心仪、屮心偏测量仪等。这些仪器的成功研制,大大提升了我国的定中心技术,并大大推动了我国光学加工领域、光学装调领域的发展。定心车削技术的应用,大大提高了光学系统的装调成功率。[6]

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