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在上个世纪，传统的干涉仪已经被制造、使用，干涉仪技术也在科研与生产中得到应用。经典干涉仪与现代干涉仪不同的是，经典干涉仪采用目视法，利用光学原理，完全靠眼睛去评估图像的质量。19世纪60年代，由于激光光源的改进，它的亮度变高，时间和空间的相干性变的更加优良。激光光源的巨大改进，使得干涉测量这种技术的应用愈加广泛。在当时，人们在计算机上利用条纹追踪法来从干涉图中分析静态条纹信息，以此来获取完整的波像差信息，但是这种方法有很大的局限之处，比如采样率不高、测量误差较大等问题，虽然激光光源的改进在一定程度上缓解了这些问题，但是测量精度依然不能达到很高的要求，难以实现测量的全自动化。但是这些缺陷在八十年代时有了改变，随着各种技术的进步，例如电子技术的飞跃进步、光学材料的迅猛发展等，虽然干涉仪的主要结构并没有太多的变化但是使得干涉仪的原理与算法出现了天翻地覆的改变，。伴随着这些科学技术的发展与应用，传统的干涉仪也在不断的发展与改进，并且产生了数字化的波面干涉仪，巧妙地将光学与电学结合。由此也产生了很多不同的干涉术，例如移相、锁相、外差等干涉术，都相继的发现并在实际中得以使用，在它们之中，采用压电晶体的移相干涉术成为了研究的主要方法，由于它的方便、快捷、准确等优点，使它得以大量的运用于干涉仪中。与这种方式最为契合的干涉仪便是数字波面干涉仪，这种干涉仪的分辨率更高并且测量误差小。数字波面干涉仪的基础模型是移位干涉术，这种干涉仪使波面的复原程度更高，并且能够直接显示波面的各种参数与立体图,这使得干涉仪的发展走上了一个新台阶，步入了自动分析的阶段。
1.2 干涉仪发展现状
干涉仪的发展主要体现以下两个方面：
1.2.1 硬件方面
传统干涉仪采用的光源是可见单色光，如今的新型干涉仪主要使用的红外线等不可见光，相信在以后的发展中，由于测量距离、纳米测量等不同的需求，不同波长的光线例如紫外线等都会在不同的情况下得到应用，而在更远的未来，更有可能出现以光子晶体为代表的光源出现，以适应各种不同问题。
早期，干涉仪是通过肉眼来观察，由于技术的进步，材料的改进，逐渐由照相机方式向线阵CCD摄取干涉条纹方式转变，如今，现代干涉仪通常采用面阵CCD方式，探测器采用的响应频率为 HZ级。但是目前光频率的优点还未完全发挥，如果想让距离的表达变得更加简单，就要必须提高探测器的频率，而其结构也必然会因此发生变化。
1.2.2 图像处理方面
在19世纪60年代之前，还没有广泛的使用计算机，图像的处理都是依靠人工来解决的，用肉眼的方法对干涉图进行分析，这种方法的测量精度很低，但是对于人的要求却很高，如果没有任何的经验、不熟练的人来操作，必然会出现极大的误差，而同样的，即使是熟练有经验的工人，也会有不同程度的误差，这样得来的数据并不能准确的体现测量的结果，导致在图像的分析处理方面的精度没有得到很大的提升，虽然采用很多办法来解决，没有重大的突破。
伴随着光学测量的飞速发展，人们开始将电子测量技术引入光学之中，同时开始使用精度更高更灵敏的电子器件，电子器件大致有压电晶体、电光晶体等几种，采用了移相干涉术(Phase-shift Interferometry-PSI),外差干涉术(Heterodyne Interferometry)和锁相干涉术(Phase-located interferometry)等技术。在上述的几种技术中，波面的复原主要利用多幅干涉图的综合分析与处理。除此以外，还有很多处理方法采用了单幅静态干涉图，这些方法有傅式分析法（压条纹法，快速傅式分析法）等。
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