1.1.2原始条件及数据
量程：3×3mm
垂直：9mm
分辨率：1nm
检测速度：5min/件
1.2课题的重点
1.具有较高加工精度的机械零件基于视觉和光学干涉测量技术的检测方法分析
2.低负载高定位精度机械结构设计和驱动控制系统设计，要求位置精度高特别是调整光学部分。
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