毕业论文
计算机论文
经济论文
生物论文
数学论文
物理论文
机械论文
新闻传播论文
音乐舞蹈论文
法学论文
文学论文
材料科学
英语论文
日语论文
化学论文
自动化
管理论文
艺术论文
会计论文
土木工程
电子通信
食品科学
教学论文
医学论文
体育论文
论文下载
研究现状
任务书
开题报告
外文文献翻译
文献综述
范文
SolidWorks动态图像测试台设计+文献综述(5)
用高真空获得设备。在本次毕业设计中选择的高真空设备为 FF-160/620C 复合分子泵。
该泵外形如图2.2所示:
图2.2 FF-l60/620C复合分子泵
FF-l60/620C 复合分子泵是一种机械式真空泵,是由涡轮抽气级和盘形牵引压缩级
组合而进行抽气的。对被抽气体无选择性、无记忆效应、操作简单、使用方便。由于对
分子量大的气体具有很高的压缩比,因此在运转过程中,高真空区域不会受到油蒸汽的
1—真空室;2—热偶真空计;3—B-A真空计;4—超高真空阀;
5—涡轮分子泵;6—前级泵;7—电磁阀;8—机械泵
亏染,该泵不需要冷阱和油挡板,即可获得清洁的高真空和超高真空环境。它广泛应用
于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。
该分子泵需要有前级泵提供Pa以下的压强才能进行工作。其主要的特点如下:
1) 高极限真空:整体加工转子,加工精度、装配精度提高,转子强度得到提高,可运
转于更高的工作转速,抽速、极限真空均得到提高;
2) 大抽速:高压强区抽速高(7Pa时,抽速达 130L/s);
3) 高可靠:性转子强度提高,重量进一步降低,采用陶瓷球轴承,分子泵的运转可靠
性、寿命得到增强;
4) 强抗冲击性:整体加工转子刚度得到提高。抗冲击、防大气突入能力进一步得到提
高;
5) 性能一致性: 转子采用整体加工,克服了分片组装转子所不可避免的级间返流问题。
减少了多个产品间性能的不一致性。
FF-160/620C 主要技术指标如表 2.1所示:
表2.1 FF-160/620C复合分子泵主要技术指标
产品型号 FF-160/620C
进气口法兰 DH160CF DN160LF
抽气速率 L/s(对空气) 600
排气法兰 KF40
使用轴承 精密陶瓷轴承
启动时间(min) <6
额定工作转速(rpm) 36000
冷却方式和水温 水冷,<25℃
安装方式 垂直±5°
环境温度(℃) 5~40
重量(公斤) 29
2.2.2 干泵
无油干泵(如图 2.3 涡旋式干泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气
体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵
同等量级或者接近的机械真空泵。
图 2.3 涡旋式干泵
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气
系统出现了两个急需解决问题:首先是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在
许多情况下会影响产品的质量、数量,增加设备的文护成本。其次,由于某些工艺过程
中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系
统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解
决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的
使用效果。近年来,干泵的技术得到非常迅速的发展,不同类型的干式泵具有各自的特
点,使用时可根据不同的用途加以选择。容积式的干泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵等,
它们的极限压力一般为 0.1~10Pa。动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧
与大气相接, 在连续流状态下压缩比较高。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结
构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为 10-2Pa。
共8页:
上一页
1
2
3
4
5
6
7
8
下一页
上一篇:
matlab负载模拟加载系统的建模与控制设计
下一篇:
MATLAB斜齿齿轮泵设计及优化程序的开发
solidworks便携式代步电动车结构设计
SolidWorks卧式钢筋切断机设计
Solidworks六自由度焊接机器人结构设计
SolidWorks在线粘度计的机械机构设计
solidworks波浪能浮标发电装置的设计
SolidWorks+C#海工拖链计算机辅助设计系统
SolidWorks轻型电动汽车车架...
志愿者活动的调查问卷表
公寓空调设计任务书
国内外图像分割技术研究现状
神经外科重症监护病房患...
中国学术生态细节考察《...
医院财务风险因素分析及管理措施【2367字】
承德市事业单位档案管理...
C#学校科研管理系统的设计
10万元能开儿童乐园吗,我...
AT89C52单片机的超声波测距...