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各类光学薄膜厚度测量仪测量误差差异性研究(8)
3)实验步骤
镀膜前,打开分光光度计电源开关,然后打开电脑,等电脑打开后,选择测试软件,等待设备准备。设备准备好,将扫描的波长范围设置好,选择百分比100,选择记录透射率曲线。开始进行较零,等待较零结束,打开样品仓盖子,将玻璃基片摆放好,关上盖子,选择开始按钮,进行测量,测量结束后将曲线图保存。
镀膜后,同样的操作步骤,将镀过薄膜的样品放在原基片处,进行测量,得到透射率曲线图。将镀膜前后的透射率曲线图,用Macleod软件的极值法进行计算求得膜厚数据。
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