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两层硅基板：1）顶部基板：微带天线和微加工来提高天线的辐射性能2）底部基板：共面波导馈线和耦合槽。试验表明，在94GHz -18dB，10dB带宽的回波损耗是10%，58 + 5%的最大效率，辐射模式之前和之后超过10dB，E面和H面相互耦合低于20dB（由于增加了小50µM酒吧之间的天线）。
微机械天线的阵列天线在毫米波频率的集成的一种有效方法由于毫米波多光束和光束阵列的研究也更多。例如，在2002，李明益开发了一种双光束扫描在毫米波频段微带贴片天线阵列。扫描光束的频率控制，当频率变化，介质镜像线波传播速度的变化，使元件间的相位差的变化，使主瓣点会改变。设计，制造和测量在Ka波段12单元微带阵列。单端口和双端口馈电结构的设计是用来产生频率控制两束。实验结果表明这两种结构具有良好的结果：从28.5ghz两光束的频率
在32.5ghz，光束可以扫描31度和31.5度分别在两个方向的阵列的回波损耗小于-15dB。另一个例子是在2003，abbaspour tamijani阿巴斯开发了平面相控阵结构简单但性能优秀，并且介绍了一种新的阵列布局和馈电网络..本设计采用子阵和一系列并网方案以获得所需的天线性能。结果表明，该阵列具有低副瓣，结构紧凑，可控的束。相控阵的波束切换三种状态设计。阵列扫描角度为10。整个阵列由80微带单元，增益大于20dBi，旁瓣电平低于-19dB，10dB带宽超过6.3%。天线工作在X波段时，天线的效率是33 ~ 36%。
2002，r.b.waterhouse研究宽带阵列天线由一层贴片探头扫描
特征。实验结果表明，分层贴片结构的介电常数相对较高（如介电常数大于
10，在上基板的介电常数较低，可以得到超过25%的带宽时，扫描范围是45。该天线适用于汽车防撞雷达和移动通信基站。
2003，A.中国开发四元77GHz馈阵列工作，E半功率波束
带宽大约是20，而带宽大约是2.6%（VSWR≤2）..
已有大量的文献对单片收发天线的研究早在1981，F Lalezari发达
天线可以在两种正交极化方式工作，可实现收发功能。采用馈线
布局巧妙地避免了交叉问题，并能抑制杂散辐射的装置，发送和接收馈线隔离。
到30dB。此外，馈电网络的设计的复杂性可以用进给模式耦合的减少..C. eswarappa
2004开发了24GHz单片集成收发器阵列天线就是这样一个例子。作者还增加了一个数量的圆形开口，周期性的过滤器，增大天线之间的隔离。实验表明，当时间过滤不添加，收发器25dB和天线阵列的距离上传输和隔离度..几乎没有影响同一阵列间距后，收发信机提高了15 ~ 20dB隔离。
国内的研究主要集中在1990后。1991，刘克诚，等在8mm微带阵列天线的精确制导武器的研究。制作了两种天线阵列，一个是美联储的梳子系列阵列直径248单位106mm厚0.5mm基板，增益25.6dbi，旁瓣电平-22dB（E）和-18dB（H），带宽和驻波系数2＜8%；另一个是0.25毫米厚的RT/duroid 5880基板单元（208）和贴片阵列，直径为100mm，增益25dbi和锥形波束宽度约为5。5度，旁瓣电平-20dB（H）和-14dB（E面）的电压驻波比小于2的带宽是4%。此后，华东理工大学的广场上，如教授8×8平方毫米微带阵列的开发，在2GHz带宽大于19.5dbi和21dbi增益。衬底材料为厚duroid5880基板..1995，北京理工大学，工学院刘瑞祥和丁世昌33 ~ 35.5GHz分别单贴片，4个元素的数组，数组的8元，272元阵分别进行理论分析和实验研究，实验测得的单位数272的微带阵列天线增益为28.5dbi，VSWR小于2带最大达到1.5 ~ 2GHz。在那之后，目前还没有相关文献对毫米波微带天线的进一步研究。
2毫米波微带天线的研究
毫米波微带天线由于其工作在毫米波频段，可以从更小或更清楚地观察目标的细节分开解决。主要表现在：毫米波雷达，包括空间目标识别，汽车防撞，直升机控制和跟踪精度，电子战，等等；和导弹制导，引信等。在毫米波通信系统，在卫星通信中的应用，飞机通信和警报设备，飞船和地面通信等。