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高真空获得设备的国内外现状随着高能加速器、热核反应、半导体研究、空间探索、表面研究等现代科学技术的迅猛发展，真空技术在各行各业应用的日益宽泛和不可或缺，人们对实现和保证真空状态下工艺过程的重复性可靠性及其技术进步已在不断地提出新的要求[3]对于真空获得设备的要求也愈发高。真空的应用领域得到快速拓展，真空技术也由低真空向高真空、超高真空发展，真空系统也从有油系统向无油系统快速发展。 我国的真空设备厂家均属于中小型企业，其中 70%以上的都是以生产真空泵和真空6561
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机组为主[4]。现在国内的真空设备行业在低端真空获得设备产品在产量方面能够满足我
国国民经济的需求，如往复泵、水环泵等。这些泵在性能与技术方面基本上能满足不同
的工艺过程要求。但是在生产高端真空获得设备方面，除了分子泵与少量的离子溅射泵
外，其他高真空获得设备基本上是空白[3]
。
美国、德国、英国等一些国家在真空获得设备技术方面起步较早，发展比较成熟。
虽然国内的产品在极限真空、抽速等主要技术性能指标与国外同类产品相比差距不大，
但综合性能指标差距很大，尤其是量大面广的旋转机械类的真空泵，普遍都存在振动大、
噪声大、泵起动时喷油、运转时漏油，以及停泵后返油等问题，泵的故障率高、可靠性
差、使用寿命短[4]
。而这些往往阻碍了高真空获得设备的发展。反观国外的产品，如英
国BOC Ewards公司的 EPX 干泵，为德国Pfeiffer公司的OnTool 干泵，它们都可以实现
从高真空到大气的全部抽气过程，这两种高真空直排大气干泵均具有高达每分钟几万转
的转速，结构紧凑，尺寸小，在良好的动平衡基础上，可实现很低的噪声[5]
。从这些高
性能，并拥有较宽抽气范围的高真空获得设备，能看出我国的高真空设备与国外的设备
还有不小的差距，国内技术还有很大的提升空间。