自20世纪60年代移相干涉测量思想被提出,移相相位提取算法发展至今已有多种模式[5]。标准移相算法要求移相量是一个已知量并且要求等间隔移相, 这个要求一般很难满足。围绕着如何减小移相机制不完善而产生的误差,国内外学者先后提出了多种算法[6]。比如Carre算法,多步长,三步,四步,五步和greivenkamp算法等等。这些算法是相互区别的所需数量和相移的间距,并且他们每个都有自己的优点的缺点[7]。64820
现有的算法有一个共同的特点:他们认为的相移所产生预期的完全一样。如果在实际相存在误差的变化由于非标准或外部干扰,准确的测量是无法保证的。因此,他们的应用仅限于在实验室条件下的测量。然而,往往需要在不便的环境实现测量条件。这是特别的情况下,当一个大的目标是要检查或测试表面时是衡量一个机加工操作的过程[8]。在这种情况下,光学装置需要移植到达到良好的接入点被测量并且相移误差不可避免地遇到原位测量需要校正。
最近,国际上有学者提出了一种修正方法,相移的实际值的确定直接从干涉图而没有任何随后的校准。这种方法假设每个干涉图具有相同的相位偏移,可以通过最小二乘法拟合实现。现在是为a-bucket算法扩大这项研究,其中A标准是任意的。这种新的算法确定任何相位偏离其预定的值的误差,也通过代替实际值在随后的计算来抑制误差。此算法应用到原型的便携式测量系统来证明,即使在恶劣的环境有振动干扰的条件下精确测量是可能的[9]。
参考文献
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