国外的早期有W. Chow和G..Lawrence[3]发表过一篇关于子孔径测量产生的干涉图的复原的方法研究。之后G..Lawrence等人又提出了使用环形子孔径的方法。Paul Murphy等人在2006年发表的一篇文章中使用QED设计的子孔径拼接干涉仪(SSI)对浅度非球面进行测量,通过实验验证无需任何补偿可以对浅度非球面自动测量,并且耗时很短。9522
国内的有长春光机所的王孝坤[4]等人在子孔径拼接检测非球面方面做了许多研究,其中主要是环形和圆形子孔径拼接方面,最初在《光学精密工程》上发表的一篇文章,主要是通过软件仿真模拟环形子孔径的方法来验证这种数学模型和算法的可行性。他们采用的综合优化的拼接方式,有效扼制误差传递和积累。拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值非别为0.0079λ和0.0027λ。之后又发表文章对环形子孔径和圆形子孔径检测非球面的基本原理做了阐述,并对这两种方法进行了数学建模和算法的开发。之后又提出一种子孔径拼接技术和补偿技术相结合的检测方法,对外形尺寸为400mm 300mm的高次离轴非球面进行测试,得到了准确的全孔径面形分布。中科院的侯溪等人在环形子孔径拼接算法的精度影响因素方面做了研究,得出结论该算法对高阶噪声和随机噪声均不灵敏;对口径和相对口径较大的非球面,相邻子孔径重叠系数应大于0.15,对于非球面度不大的非球面,重叠系数可大于0.25,能以较高精度求得拼接参量。
在非球面测量中使用的仪器也有很多。如哈特曼-夏克传感器[5,6]是一种非常有效的光学车间检测手段,中科院光电技术研究所的饶学军等人对在2002年光学学报上发表的一篇文章中对他的测量精度进行了标定。ZYGO干涉仪是一种对非球面检测常用的仪器。2005年哈尔滨工业大学航天学院提出了一种利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面的新的波前补偿方法。实验得出系统的波前残余误差的RMS值可以控制在0.01λ以内,且该方法有一定的通用性。近期德国的Wolfgang Osten等人提出了一种非球面测量的新方法,还处于理论实验阶段,有很大的研究价值和指导意义。
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