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（6）监视运行情况：在监视方式下，监视控制程序的每个动作是否正确。
（7）运行程序。
本次设计的卷绕式镀膜机的真空系统流程图如下图3.3所示
图3.3 卷绕式镀膜机的真空系统流程图
3.4.1启动程序设计
启动工作过程如图3.4所示，对应的梯形图如图3.5所示。
图3.4 启动过程示意图
图3.5 启动过程梯形图
3.4.2抽真空程序设计
抽真空模块分为3个过程,即抽低真空、抽中真空和抽高真空。抽空分为三级抽，第一级是用粗抽泵；第二级是用罗茨泵；第三级是用扩散泵。这三级的抽空能力一级比一级强，在这个过程中，泵与阀门配合着使用，使被抽气体沿着不同的管道路径被抽出真空室，且它们的开启与关闭有着严格的顺序要求，一定要注意，顺序不要弄错。
其工作过程如图3.6所示，对应的梯形图如图3.7所示。
图3.6 抽真空过程流程图
图3.7 抽真空过程梯形图
3.4.3 破空程序设计
当抽完高真空后,就开始启动卡具电源和靶电源,充入气体开始镀膜,当到达程序设定的镀膜时间完成镀膜时,系统需要按顺序控制阀位的开关以及泵等原件的开关状况使得各个阀位按照要求分别处于正常状态。并且打开炉门取出镀好的产品,打开真空室的放气阀,使室内与室外的压强相等时,炉门打开,成品出炉。
破空是在工作完毕后使真空室和外界大气连通。在开破空阀前一定要保证高真空阀关闭，否则可能会引起扩散泵油的爆炸。
其工作过程如图3.8所以，对应的梯形图如图3.9所示。
图3.8 破空过程示意图
图3.9 破空梯形图
3.4.4 关机过程
关机时，后关文持泵同样是为了防止扩散油被氧化。关机后各泵和阀门都恢复到未工作时的状态。
关机过程的流程图如图3.10所示，对应的梯形图如图3.11所示。
图3.10 关机过程示意图
图3.11 关机梯形图
3.4.5故障报警模块程序设计
当开泵的触点闭合时，泵指示灯亮（泵正常工作），当灯不亮时便报警；当阀门开或关的触点闭合时，如果开（关）到位，指示灯亮，若指示灯不亮（开关没到位）则报警。本系统中阀门报警中加入了三秒时间延时，为了防止在开（关）过程中报警。报警梯形图如图3.12所示。
图3.12 故障报警模块梯形图
3.5本章小结
本章讲述了基于PLC的卷绕式镀膜机真空系统的设计，硬件方案和软件方案的设计步骤的介绍，PLC的I/O地址分配，系统工艺的流程图等。欧姆龙CJ系列PLC具有很强的编程功能，支持多任务调用子程序。OMRON公司的CX-Programmer 软件平台在白动化工程各方面具有友好的用户功能。采用该软件平台可完成硬件设置、地址的分配及用户应用程序的开发。
4 系统调试
根据以上的控制方案，设计并组成了相应的控制系统，经过一般时间的调试运行，发现控制系统能满足所需的的性能要求。但其中也可能存在着如下的一些问题：
（1）由于缺少了张力传感器的直接测量，张力控制精度不能达到很高（只能在5%的精度）。
（2）由于缺少了半径传感器，卷绕起始时，半径值难以得到，会使卷绕不正常，克服此缺陷可由触摸屏设定卷径初值通过网络传送至PLC及调速器来解决。
（3）在调试过程中发现，若连好膜以后中间放得较宽松，卷绕一启动工作，会有一个张力冲击，使膜发出一下子拉紧的响声，并有可能损坏膜甚至拉断。这种现象的改善可通过把收卷的电动机控制器先设定为速度控制状态, 使膜慢速收紧后，把转速平稳减至零。然后再改设为张力控制状态，此控制的转换也是通过网络发指令来进行。
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